一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器及制备方法，包括由不少于一个热电偶串联组成的热电堆区以及集成在热电堆区上的热敏电阻，热电偶包括支撑层，所述支撑层上设有复合薄膜，复合薄膜包括氮化硅层一和氧化硅层一，在复合薄膜上设有第一热偶层，所述第一热偶层上设有氧化硅层二，所述氧化硅层二上设有第二热偶层，所述第二热偶层上设有氮化硅层二，所述支撑层下端设有背腔。本发明专利技术与现有技术相比的优点在于：把热敏电阻集成到热电堆芯片中，通过半导体工艺一并实现出带有热敏电阻的热电堆，大大的减少了封装面积和成本。

【技术实现步骤摘要】
一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器及制备方法
本专利技术涉及红外热电堆传感
，具体是指一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器及制备方法。
技术介绍
热电偶是一种广泛应用的温度传感器，也被用来将热势差转换为电势差。它的工作原理是基于托马斯塞贝克于1821年发现的热电效应或者赛贝客效应：两种不同金属材料A和B构成的回路中，如果两种金属的结点处温度T1和T2不同，该回路中就会产生一个温差电动势。热电堆是将多个热电偶串联而成，在相同的温差时，热电堆的开路输出电压是所有串联热电偶的温差电动势之和。在相同的电信号检测条件下，热电堆能检测到的最小温差是单个热电偶的1/n，从而增强了对温度的分辨能力。MEMS热电堆可以实现热电堆的微缩，能够应用到便携设备中，并且由于可以集成大量的热电偶，因而可以进一步提高温度的分辨率。MEMS热电堆红外探测器是一种基于赛贝客效应的非制冷红外探测器，其可以在常温工作，并对较大范围内的红外光响应均匀，由于成本较低，可以大批量生产，因此在安全监视、医学治疗、生命探测等方面有广泛应用。特别是体温测量领域，传统的红外探本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器，其特征在于：包括由不少于一个热电偶串联组成的热电堆区(7)以及集成在热电堆区(7)上的热敏电阻(8)，热电偶包括支撑层(9)，所述支撑层(9)上设有复合薄膜，复合薄膜包括氮化硅层一(1)和氧化硅层一(2)，在复合薄膜上设有第一热偶层(3)，所述第一热偶层(3)上设有氧化硅层二(10)，所述氧化硅层二(10)上设有第二热偶层(4)，所述第二热偶层(4)上设有氮化硅层二(5)，所述支撑层(9)下端设有背腔(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器，其特征在于：包括由不少于一个热电偶串联组成的热电堆区(7)以及集成在热电堆区(7)上的热敏电阻(8)，热电偶包括支撑层(9)，所述支撑层(9)上设有复合薄膜，复合薄膜包括氮化硅层一(1)和氧化硅层一(2)，在复合薄膜上设有第一热偶层(3)，所述第一热偶层(3)上设有氧化硅层二(10)，所述氧化硅层二(10)上设有第二热偶层(4)，所述第二热偶层(4)上设有氮化硅层二(5)，所述支撑层(9)下端设有背腔(11)。


2.根据权利要求1所述的一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器，其特征在于：所述氧化硅层二(10)上开有通孔(6)，所述第一热偶层(3)和第二热偶层(4)通过通孔(6)连接。


3.根据权利要求1所述的一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器，其特征在于：所述第一热偶层(3)为多晶硅层，所述第二热偶层(4)为铂层。

【专利技术属性】
技术研发人员：窦云轩，
申请(专利权)人：中微龙图电子科技无锡有限责任公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32