一种二维扫描式红外热电堆结构及其制备方法技术

本发明专利技术涉及红外热电堆技术领域，具体提供了一种二维扫描式红外热电堆结构及其制备方法，所述红外热电堆结构包括基底和设置在基底上的框架、框架扭转轴、线圈、磁铁、热电堆结构，所述制备方法包括：S1、制备基底；S2、制备复合支撑层；S3、制备热电偶层；S4、制备金属线圈和金属线圈连接线；S5、制备支撑悬浮膜；S6、制备框架扭转轴；S7、制备背腔；S8、去除基底的氧化层；S9、固定磁铁；本发明专利技术提供的二维扫描式红外热电堆结构，一方面能够有效减少热电堆的工作时间，另一方面提高了热电堆的工作效率和检测精度，最重要的是热电堆的工作功耗得到了极大地降低；本发明专利技术提供的二维扫描式红外热电堆结构的制备方法简便，制作工艺简单，生产的红外热电堆体积较小，适合大批量生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及红外热电堆，具体涉及一种二维扫描式红外热电堆结构及其制备方法。

技术介绍

1、本专利技术涉及红外热电堆领域，提供了一种二维扫描式红外热电堆结构及其制备方法，所述的二维扫描式红外热电堆包括基底、框架、框架扭转轴、线圈、磁铁、热电堆支撑层、热电偶层。所述的基底设置有空腔，将所述的第一框架、第二框架、线圈、磁铁、热电堆支撑层、热电偶层依次设置在空腔内，所述的框架包括第一框架和第二框架，第一框架和第二框架通过第一框架扭转轴连接在一起，基底和第二框架通过第二框架扭转轴连接在一起，所述的第一框架扭转轴和第二框架扭转轴包括但是不限于梳齿状，还可以是其他的s交叉型的扭转轴，所述的第一框架设置有空腔，减小热电堆结构的散热性，提高热电堆检测精度，线圈位于第二框架的上方，磁铁位于第二框架的下方，通电的线圈在磁铁的作用下转动，从而驱动第二框架进行转动，第二框架通过第一框架扭转轴带动第一框架进行转动，所述的热电堆结构位于第一框架的上方，第一框架带动热电堆转动，从而实现面域温度的扫描。采用二维扫描式红外热电堆结构的优点是将传统上只能采集一个点温度的热电堆升级为通过逐行扫本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种二维扫描式红外热电堆结构，其特征在于，所述的红外热电堆结构包括基底和设置在基底上的框架、框架扭转轴、线圈、磁铁、热电堆结构，所述的热电堆结构包括复合支撑层和设置在复合支撑层上的热电偶层；

2.根据权利要求1所述的二维扫描式红外热电堆结构，其特征在于：所述框架包括第一框架和第二框架，所述框架扭转轴包括第一框架扭转轴和第二框架扭转轴，第一框架与第二框架通过第一框架扭转轴连接在一起，基底与第二框架通过第二框架扭转轴连接在一起；所述线圈位于第二框架的上方、磁铁位于第二框架的下方，所述热电堆结构位于第一框架的上方。

3.根据权利要求2所述的二维扫描式红外热电堆结构，...

【技术特征摘要】

1.一种二维扫描式红外热电堆结构，其特征在于，所述的红外热电堆结构包括基底和设置在基底上的框架、框架扭转轴、线圈、磁铁、热电堆结构，所述的热电堆结构包括复合支撑层和设置在复合支撑层上的热电偶层；

2.根据权利要求1所述的二维扫描式红外热电堆结构，其特征在于：所述框架包括第一框架和第二框架，所述框架扭转轴包括第一框架扭转轴和第二框架扭转轴，第一框架与第二框架通过第一框架扭转轴连接在一起，基底与第二框架通过第二框架扭转轴连接在一起；所述线圈位于第二框架的上方、磁铁位于第二框架的下方，所述热电堆结构位于第一框架的上方。

3.根据权利要求2所述的二维扫描式红外热电堆结构，其特征在于：所述第一框架扭转轴和第二框架扭转轴均设置为梳齿状结构。

4.根据权利要求2所述的二维扫描式红外热电堆结构，其特征在于：所述第一框架扭转轴和第二框架扭转轴均设置为s交叉型结构

5.根据权利要求1所述的二维扫描式红外热电堆结构，其特征在于：所述基底设置为中空结构，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧寿兵，蒋云武，窦云轩，
申请(专利权)人：中微龙图电子科技无锡有限责任公司，
类型：发明
国别省市：