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本发明涉及红外热电堆技术领域，具体提供了一种二维扫描式红外热电堆结构及其制备方法，所述红外热电堆结构包括基底和设置在基底上的框架、框架扭转轴、线圈、磁铁、热电堆结构，所述制备方法包括：S1、制备基底；S2、制备复合支撑层；S3、制备热电偶层...
该专利属于中微龙图电子科技无锡有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微龙图电子科技无锡有限责任公司授权不得商用。

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