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本发明公开了一种集成热敏电阻的红外热电堆传感器及制备方法，包括由不少于一个热电偶串联组成的热电堆区以及集成在热电堆区上的热敏电阻，热电偶包括支撑层，所述支撑层上设有复合薄膜，复合薄膜包括氮化硅层一和氧化硅层一，在复合薄膜上设有第一热偶层，所...
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