具有薄膜晶体管的干涉式调制器制造技术

本发明专利技术揭示一种调制器，其具有一带有一第一表面的透明衬底。至少一个干涉式调制器元件驻留于所述第一表面上。至少一个电连接至所述元件的薄膜电路组件驻留于所述表面上。当多于一个干涉式元件驻留于所述第一表面上时，有至少一个薄膜电路组件对应于驻留于所述第一表面上的每一元件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍
干涉式调制器(例如iMoDTM)通过控制射到调制器正面上的光的自干涉来调制光。这些类型的调制器通常采用一具有至少一个可移动或可偏转的壁的空腔。所述可偏转的壁移动经过平行于所述空腔的前壁的平面，所述空腔的前壁是射到调制器正面上的光所首先遇到的壁。当通常至少部分地由金属构成且具有高度反射性的所述可移动的壁朝所述空腔的正面移动时，会在所述空腔内发射光的自干涉，且所述正面与所述可移动的壁之间的变化的距离会影响在所述正面处射出所述空腔的光的颜色。由于干涉式调制器通常是直视式装置，因而所述正面通常是显现由观察者所看到的图像的表面。所述可移动的壁响应于一由寻址电路所产生的激励信号而移动，所述寻址电路将所述信号发送至可移动元件。所述寻址电路通常制造于离开可移动元件阵列的芯片外。这部分地是因为在上面制造干涉式调制器的衬底是透明的，例如为塑料或玻璃。可在透明衬底上制造薄膜晶体管。将薄膜晶体管与干涉式调制器相集成可提供一具有扩展的功能度的干涉式调制器。
技术实现思路
附图说明通过参照附图来阅读本揭示内容，可最好地理解本专利技术，在附图中图1a及1b显示一干涉式调制器的若干实施例；图2显示一具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造一具有薄膜电路组件的干涉式调制器的方法，所述方法包括：　　　　在一透明衬底上制作至少一个干涉式调制器；　　　　在所述透明衬底上制作至少一个薄膜电路组件，其中所述制作包括沉积一半导体、金属、氧化物、或聚合物中的至少一者，以同时形成用于一薄膜电路组件与一干涉式调制器二者的结构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：克拉伦斯徐，斯蒂芬奇，
申请(专利权)人：IDC公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]