【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微电子机械ＭＥＭｓ装置，包括： 平台，其在基片上方可绕相互垂直的第一轴和第二轴枢转； 底座，在所述平台下面从所述基片向上延伸； 第一铰链，从所述底座延伸，能使所述平台倾斜于所述第一轴； 平衡架，至少部分沿所述第一铰链延伸，用于接收所述第一铰链的外端；以及 第二铰链，从所述平衡架延伸到所述平台下面，能使所述平台绕所述第二轴滚动； 其中将所述第一和第二铰链完全设置在所述平台下面，以使相邻ＭＥＭｓ装置紧密组合在一起。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：约翰迈克尔米勒，巴里科沃斯，
申请(专利权)人：JDS尤尼弗思公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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