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根据本发明的微电子机械镜装置，包括可绕两个互相垂直的轴枢转的平台，和设置在平台下面的铰链结构。铰链结构包括第一铰链和第二铰链以及在平台层下面单层制造的平衡环。铰链结构的一端从平台下表面延伸，而另一端从底座延伸，该底座从基片向上延伸。...
该专利属于JDS尤尼弗思公司所有，仅供学习研究参考，未经过JDS尤尼弗思公司授权不得商用。

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