单晶硅拉晶组合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出单晶硅拉晶组合装置，包括提拉机构、旋转机构、钢丝绳、重锤，提拉机构包括卷线轮、导向轮、阻尼套、安装架、卷线电机，安装架活动设置于外部固定装置上，卷线轮、导向轮设置于安装架内部，旋转机构包括旋转电机、皮带轮、皮带，通过旋转电机带动提升机构整体在水平面内旋转，重锤包括本体、连接件，连接件包括设置在上端的圆柱体和下端的球体，卡孔包括上部分的圆柱形孔和下部分的长圆孔，本实用新型专利技术加装导向轮进行微调，改进重锤连接件，精细化重锤结构，增加配重重量，使钢丝绳与阻尼套同轴转动，阻尼套和配重重量的增加，使得单晶炉在拉晶时的晶转可以达到稳定的20r/min，并且不会产生晶体划弧现象。

【技术实现步骤摘要】
单晶硅拉晶组合装置
本技术涉及单晶硅拉晶
，尤其涉及一种单晶硅拉晶组合装置。
技术介绍
FT-CZ1806单晶炉在拉晶过程中，由于设备精度较低，籽晶旋转速度最高只能达到15r/min时可以稳定运行，晶转再往更高提的话就会导致晶棒划弧，无法拉晶。但15r/min的晶转导致拉出来的晶棒氧含量较低，无法满足部分客户对高氧产品需求，使得客户流失。
技术实现思路
有必要提出一种单晶硅拉晶组合装置。一种单晶硅拉晶组合装置，包括提拉机构、旋转机构、钢丝绳、重锤，提拉机构下端连接钢丝绳的上端，钢丝绳的下端连接重锤，重锤的上端与钢丝绳适配，下端设置与籽晶适配，旋转机构一端固定连接提拉机构，另一端与外部固定装置连接，以通过旋转机构带动提拉机构、钢丝绳、重锤在水平方向内旋转，所述提拉机构包括卷线轮、导向轮、阻尼套、安装架、卷线电机，安装架活动设置于外部固定装置上，卷线轮、导向轮设置于安装架内部，且其轴向相对于安装架能够转动，导向轮设置于卷线轮的下方，且导向轮还能够相对于安装架横向调整，卷线电机与安装架固定连接，卷线电机与卷线轮传动连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅拉晶组合装置，其特征在于：包括提拉机构、旋转机构、钢丝绳、重锤，提拉机构下端连接钢丝绳的上端，钢丝绳的下端连接重锤，重锤的上端与钢丝绳适配，下端设置与籽晶适配，旋转机构一端固定连接提拉机构，另一端与外部固定装置连接，以通过旋转机构带动提拉机构、钢丝绳、重锤在水平方向内旋转，所述提拉机构包括卷线轮、导向轮、阻尼套、安装架、卷线电机，安装架活动设置于外部固定装置上，卷线轮、导向轮设置于安装架内部，且其轴向相对于安装架能够转动，导向轮设置于卷线轮的下方，且导向轮还能够相对于安装架横向调整，卷线电机与安装架固定连接，卷线电机与卷线轮传动连接，以带动卷线轮转动，还在安装架的下方开设安装阻尼...

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅拉晶组合装置，其特征在于：包括提拉机构、旋转机构、钢丝绳、重锤，提拉机构下端连接钢丝绳的上端，钢丝绳的下端连接重锤，重锤的上端与钢丝绳适配，下端设置与籽晶适配，旋转机构一端固定连接提拉机构，另一端与外部固定装置连接，以通过旋转机构带动提拉机构、钢丝绳、重锤在水平方向内旋转，所述提拉机构包括卷线轮、导向轮、阻尼套、安装架、卷线电机，安装架活动设置于外部固定装置上，卷线轮、导向轮设置于安装架内部，且其轴向相对于安装架能够转动，导向轮设置于卷线轮的下方，且导向轮还能够相对于安装架横向调整，卷线电机与安装架固定连接，卷线电机与卷线轮传动连接，以带动卷线轮转动，还在安装架的下方开设安装阻尼套的孔，阻尼套沿着竖向方向开设供钢丝绳穿过的孔，旋转机构包括旋转电机、皮带轮、皮带，皮带轮固定连接在提拉机构的安装架下方，皮带连接在皮带轮与电机之间，以通过旋转电机带动提升机构整体在水平面内旋转，所述钢丝绳上端连接提拉机构的卷线轮，下端穿过阻尼套的孔并连接重锤，以带动重锤向上提升，重锤包括本体、连接件，所述本体为一实心柱体，在本体的上端设置连接钢丝绳的卡孔，下端设置连接籽晶的连接孔，连接件包括设置在上端的圆柱体...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄鑫，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64