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本实用新型提出单晶硅拉晶组合装置,包括提拉机构、旋转机构、钢丝绳、重锤,提拉机构包括卷线轮、导向轮、阻尼套、安装架、卷线电机,安装架活动设置于外部固定装置上,卷线轮、导向轮设置于安装架内部,旋转机构包括旋转电机、皮带轮、皮带,通过旋转电机带...该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出单晶硅拉晶组合装置,包括提拉机构、旋转机构、钢丝绳、重锤,提拉机构包括卷线轮、导向轮、阻尼套、安装架、卷线电机,安装架活动设置于外部固定装置上,卷线轮、导向轮设置于安装架内部,旋转机构包括旋转电机、皮带轮、皮带,通过旋转电机带...