应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括桥架在运转台上的负压抽液机构，负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及负压动力源，负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，负压抽液管与运转台的台面相平行且与运转台运行方向相垂直设置，负压抽液管上设有若干负压抽液管口，若干负压抽液管口线性相间隔排列。本实用新型专利技术通过负压抽液机构的设计，能将板材上的余量蚀刻液抽离，满足板材上蚀刻液的均匀性需求，提高产品蚀刻质量，同时实现余量蚀刻液的循环回收。负压抽液管具备防回流腔设计，提高了负压抽液管口负压抽吸力的稳定性，进一步提高了板材上蚀刻液的均匀性，产品蚀刻精度提升较为显著。

【技术实现步骤摘要】
应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置
本技术涉及应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，属于蚀刻设备辅助装置的

技术介绍
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻(dryetching)两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(WeightReduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。蚀刻设备一般包括用于承载板材的带式运转台、及用于喷淋蚀刻液的喷淋管路，板材经过曝光显影后经过蚀刻液喷淋蚀刻得到蚀刻板。现有技术中，蚀刻液喷淋在板材上会自然流平，为了确保蚀刻液能布满蚀刻槽位，一般会存在喷淋余量，而过多的蚀刻液会出现一定地堆积，一方面造成过度蚀刻，另一方面存在均匀性差的问题，影响到蚀刻板的蚀刻质量。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述现有技术的不足，针对传统蚀刻液流平不稳定容易出现均匀性较差的问题，提出应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置。为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案为：应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，设置于蚀刻设备的运转台上，包括桥架在运转台上的负压抽液机构，所述负压抽液机构位于所述蚀刻设备的喷淋管路的底部，所述负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及用于连通若干所述负压抽液管的负压动力源，所述负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，所述负压抽液管与所述运转台的台面相平行且与所述运转台运行方向相垂直设置，所述负压抽液管上设有若干管口垂直朝向所述运转台的台面的负压抽液管口，若干所述负压抽液管口线性相间隔排列，并且所述负压抽液管口与所述运转台台面上的板材留有间隙。优选地，所述负压抽液管包括圆管状主体，所述负压抽液管口设有延伸至所述圆管状主体内腔的延伸管端，所述延伸管端与所述圆管状主体内腔之间形成防回流腔。优选地，所述负压抽液管口为矩形管体。优选地，所述负压抽液机构包括与任意所述负压抽液管相连通的连通管路，所述连通管路与所述负压动力源相连。优选地，所述负压抽液管、所述连通管路、及所述负压抽液管口分别具备耐腐蚀涂层。优选地，所述连通管路与若干所述负压抽液管为一体式管网结构。优选地，所述运转台的基座上设有若干组成对设置的用于对所述负压抽液管进行支撑的立柱。优选地，所述喷淋管路包括若干相平行且与所述运转台运转方向同向设置的喷淋管。本技术的有益效果主要体现在：1.通过负压抽液机构的设计，能将板材上的余量蚀刻液抽离，满足板材上蚀刻液的均匀性需求，提高产品蚀刻质量，同时实现余量蚀刻液的循环回收。2.负压抽液管具备防回流腔设计，提高了负压抽液管口负压抽吸力的稳定性，进一步提高了板材上蚀刻液的均匀性，产品蚀刻精度提升较为显著。3.采用一体式管网结构，方便在运转台上进行构建，降低了组装成本。附图说明图1是本技术应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置的结构示意图。图2是本技术中负压抽液管的结构示意图。图3是本技术中负压抽液管的截面结构示意图。具体实施方式本技术提供应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置。以下结合附图对本技术技术方案进行详细描述，以使其更易于理解和掌握。应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，如图1至图3所示，设置于蚀刻设备的运转台1上，包括桥架在运转台1上的负压抽液机构2，负压抽液机构2位于蚀刻设备的喷淋管路3的底部。该负压抽液机构2包括若干相间隔设置的负压抽液管4、及用于连通若干负压抽液管4的负压动力源5，负压动力源5的出料端设有蚀刻液回收舱6。负压抽液管4与运转台1的台面相平行且与运转台运行方向相垂直设置，负压抽液管4上设有若干管口垂直朝向运转台1的台面的负压抽液管口41，若干负压抽液管口线性相间隔排列，并且负压抽液管口41与运转台1台面上的板材留有间隙。具体地说明，运转台1进行运转过程中，其运转的板材会经过负压抽液管4，此时喷淋管路3进行持续喷淋作业，负压抽液管口41进行负压抽液，该负压抽液存在一定负压抽吸力，当板材上出现超过一定高度的蚀刻积液时，过量蚀刻积液会被负压抽液管口41抽吸并运送至蚀刻液回收舱6，从而使得板材上蚀刻液流平均匀，提高蚀刻质量。而回收的蚀刻液会由蚀刻液回收舱6循环供给至喷淋管路3的蚀刻液供给舱位内，从而满足蚀刻液余量回收需求。在一个具体实施例中，负压抽液管4包括圆管状主体42，负压抽液管口41设有延伸至圆管状主体42内腔的延伸管端43，延伸管端43与圆管状主体42内腔之间形成防回流腔44。具体地说明，一般负压抽液管口41的负压吸力为恒定量，抽取的积液一旦未能及时排离负压抽液管4会影响到负压抽液稳定性，因此设计了防回流腔44，能实现抽取蚀刻液的缓存，缓存蚀刻液不会影响到负压抽液管口41的负压吸力稳定。在一个具体实施例中，负压抽液管口41为矩形管体。相邻负压抽液管口41之间间距小于矩形管体沿负压抽液管4方向尺寸的1/2，如此，线性排布的若干负压抽液管口41呈较为连贯的线性吸附通道，能进一步提高抽液均匀性。在一个具体实施例中，负压抽液机构2包括与任意负压抽液管41相连通的连通管路7，连通管路7与负压动力源5相连。即通过连通管路7能实现汇流，满足各分支负压抽液管41的负压抽液汇流需求。在一个具体实施例中，负压抽液管、所述连通管路、及负压抽液管口分别具备耐腐蚀涂层。即其外表面、内表面均涂布有耐腐蚀涂层，能提高对蚀刻液的抗性，延长使用寿命。在一个具体实施例中，连通管路7与若干负压抽液管4为一体式管网结构。一体式管网结构易于组装构建，便于生产加工及现场布置，降低了施工难度，同时减少了过多的管端对接密封作业，降低泄漏几率，提高抽液稳定性。在一个具体实施例中，运转台1的基座上设有若干组成对设置的用于对负压抽液管进行支撑的立柱8。通过立柱8的设计便于对负压抽液管进行搭载支撑，该立柱可以进一步优化，其可具备升降调节功能，满足不同板厚、及不同间隙需求的调节。在一个具体实施例中，喷淋管路3包括若干相平行且与运转台运转方向同向设置的喷淋管31。即喷淋管31与负压抽液管4相垂直设计，如此，能提高负压抽液管4的抽液均匀性，无需计算与喷淋管31的间隔关系，易于负压抽液管4的间隔布置。通过以上描述可以发现，本技术应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，通过负压抽液机构的设计，能将板材上的余量蚀刻液抽离，满足板材上蚀刻液的均匀性需求，提高产品蚀刻质量，同时实现余量蚀刻液的循环回收。负压抽液管具备防回流腔设计，提高了负压抽液管口负压抽吸力的稳定性，进一步提高了板材上蚀刻液的均匀性，产品蚀刻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，设置于蚀刻设备的运转台上，其特征在于：/n包括桥架在运转台上的负压抽液机构，所述负压抽液机构位于所述蚀刻设备的喷淋管路的底部，/n所述负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及用于连通若干所述负压抽液管的负压动力源，所述负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，/n所述负压抽液管与所述运转台的台面相平行且与所述运转台运行方向相垂直设置，/n所述负压抽液管上设有若干管口垂直朝向所述运转台的台面的负压抽液管口，若干所述负压抽液管口线性相间隔排列，/n并且所述负压抽液管口与所述运转台台面上的板材留有间隙。/n

【技术特征摘要】
1.应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，设置于蚀刻设备的运转台上，其特征在于：
包括桥架在运转台上的负压抽液机构，所述负压抽液机构位于所述蚀刻设备的喷淋管路的底部，
所述负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及用于连通若干所述负压抽液管的负压动力源，所述负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，
所述负压抽液管与所述运转台的台面相平行且与所述运转台运行方向相垂直设置，
所述负压抽液管上设有若干管口垂直朝向所述运转台的台面的负压抽液管口，若干所述负压抽液管口线性相间隔排列，
并且所述负压抽液管口与所述运转台台面上的板材留有间隙。


2.根据权利要求1所述应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，其特征在于：
所述负压抽液管包括圆管状主体，所述负压抽液管口设有延伸至所述圆管状主体内腔的延伸管端，所述延伸管端与所述圆管状主体内腔之间形成防回流腔。


3.根据权利要求2所述应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴辉旺，李军，
申请(专利权)人：昆山弗莱吉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32