应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括桥架在运转台上的负压抽液机构，负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及负压动力源，负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，负压抽液管与运转台的台面相平行且与运转台运行方向相垂直设置，负压抽液管上设有若干负压抽液管口，若干负压抽液管口线性相间隔排列。本实用新型专利技术通过负压抽液机构的设计，能将板材上的余量蚀刻液抽离，满足板材上蚀刻液的均匀性需求，提高产品蚀刻质量，同时实现余量蚀刻液的循环回收。负压抽液管具备防回流腔设计，提高了负压抽液管口负压抽吸力的稳定性，进一步提高了板材上蚀刻液的均匀性，产品蚀刻精度提升较为显著。

【技术实现步骤摘要】
应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置
本技术涉及应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，属于蚀刻设备辅助装置的

技术介绍
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻(dryetching)两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(WeightReduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。蚀刻设备一般包括用于承载板材的带式运转台、及用于喷淋蚀刻液的喷淋管路，板材经过曝光显影后经过蚀刻液喷淋蚀刻得到蚀刻板。现有技术中，蚀刻液喷淋在板材上会自然流平，为了确保蚀刻液能布满蚀刻槽位，一般会存在喷淋余量，而过多的蚀刻液会出现一定地堆积，一方面造成过度蚀刻，另一方面存在均匀性差的问题，影响到蚀刻板的蚀刻质量。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，设置于蚀刻设备的运转台上，其特征在于：/n包括桥架在运转台上的负压抽液机构，所述负压抽液机构位于所述蚀刻设备的喷淋管路的底部，/n所述负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及用于连通若干所述负压抽液管的负压动力源，所述负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，/n所述负压抽液管与所述运转台的台面相平行且与所述运转台运行方向相垂直设置，/n所述负压抽液管上设有若干管口垂直朝向所述运转台的台面的负压抽液管口，若干所述负压抽液管口线性相间隔排列，/n并且所述负压抽液管口与所述运转台台面上的板材留有间隙。/n

【技术特征摘要】
1.应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，设置于蚀刻设备的运转台上，其特征在于：
包括桥架在运转台上的负压抽液机构，所述负压抽液机构位于所述蚀刻设备的喷淋管路的底部，
所述负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及用于连通若干所述负压抽液管的负压动力源，所述负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，
所述负压抽液管与所述运转台的台面相平行且与所述运转台运行方向相垂直设置，
所述负压抽液管上设有若干管口垂直朝向所述运转台的台面的负压抽液管口，若干所述负压抽液管口线性相间隔排列，
并且所述负压抽液管口与所述运转台台面上的板材留有间隙。


2.根据权利要求1所述应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，其特征在于：
所述负压抽液管包括圆管状主体，所述负压抽液管口设有延伸至所述圆管状主体内腔的延伸管端，所述延伸管端与所述圆管状主体内腔之间形成防回流腔。


3.根据权利要求2所述应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴辉旺，李军，
申请(专利权)人：昆山弗莱吉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32