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本实用新型揭示了应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置，包括桥架在运转台上的负压抽液机构，负压抽液机构包括若干相间隔设置的负压抽液管、及负压动力源，负压动力源的出料端设有蚀刻液回收舱，负压抽液管与运转台的台面相平行且与运转台运行方向相垂直设置，负压...
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