一种精细化重影对位蚀刻设备及蚀刻成型方法技术

本发明专利技术涉金属蚀刻技术领域，且公开了一种精细化重影对位蚀刻设备，包括：冲洗箱，冲洗箱的底部固定连接有支撑架，所述冲洗箱的内侧壁一体式设置有延伸架，所述冲洗箱的内侧壁固定连接有吊顶板，所述吊顶板中间的内壁固定连接有吊仓，所述吊仓的顶部固定连接有仓板，所述吊仓的两侧均安装有防水灯条，所述延伸架的数量为两个，且两个延伸架之间设置有滑轨机构，所述滑轨机构的内壁设置有安放平台机构，所述安放平台机构的内部设置有托放盘机构

【技术实现步骤摘要】
一种精细化重影对位蚀刻设备及蚀刻成型方法


[0001]本专利技术涉及金属蚀刻
，具体为一种精细化重影对位蚀刻设备及蚀刻成型方法
。

技术介绍

[0002]通常所指金属蚀刻也称光化学金属蚀刻，指通过曝光制版
、
显影后，将要金属蚀刻区域的保护膜去除，在金属蚀刻时接触化学溶液，达到溶解腐蚀的作用，形成凹凸或者镂空成型的效果，最早可用来制造铜版
、
锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工，经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空
、
机械
、
化学工业中电子薄片零件精密金属蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，金属蚀刻更是不可或缺的技术
。
[0003]在进行金属蚀刻时，一般会将保护膜显影去除后的板材放置到化学溶液中冲洗腐蚀形成凹凸或者镂空成型的效果，市场上的冲洗蚀刻装置在使用时大多为翻盖式结构，在取放板材时一般需要翻开机盖后深入装置内部进行板材安放，操作空间较小，且很容易吸入留存在装置内部的化学雾气，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种精细化重影对位蚀刻设备，其特征在于，包括：冲洗箱（1），冲洗箱（1）的底部固定连接有支撑架（2），所述冲洗箱（1）的内侧壁一体式设置有延伸架（3），所述冲洗箱（1）的内侧壁固定连接有吊顶板（4），所述吊顶板（4）中间的内壁固定连接有吊仓（5），所述吊仓（5）的顶部固定连接有仓板（6），所述吊仓（5）的两侧均安装有防水灯条（7），所述延伸架（3）的数量为两个，且两个延伸架（3）之间设置有滑轨机构，所述滑轨机构的内壁设置有安放平台机构，所述安放平台机构的内部设置有托放盘机构，所述安放平台机构的一侧设置有封盖机构，所述吊仓（5）的内部设置有喷淋机构，所述吊仓（5）的两侧分别固定安装有抽风机构和进风机构，所述冲洗箱（1）的内底壁固定安装有废液排放机构
。2.
根据权利要求1所述的一种精细化重影对位蚀刻设备，其特征在于，所述滑轨机构包括固定导轨（
801
）
、
中间导轨（
802
）
、
连接导轨（
803
）和限位块（
804
），所述固定导轨（
801
）固定连接在两个所述延伸架（3）的一侧，所述中间导轨（
802
）滑动连接在固定导轨（
801
）的一侧，所述连接导轨（
803
）滑动连接在中间导轨（
802
）远离固定导轨（
801
）的一侧，所述限位块（
804
）的数量为多个，且多个限位块（
804
）分别固定连接在固定导轨（
801
）靠近中间导轨（
802
）的一侧
、
连接导轨（
803
）靠近中间导轨（
802
）的一侧和中间导轨（
802
）的两侧，且固定导轨（
801
）的数量
、
中间导轨（
802
）的数量和连接导轨（
803
）的数量均为两个，且每一个固定导轨（
801
）
、
每一个中间导轨（
802
）和每一个连接导轨（
803
）为一组，且两组固定导轨（
801
）
、
中间导轨（
802
）和连接导轨（
803
）相对分布
。3.
根据权利要求2所述的一种精细化重影对位蚀刻设备，其特征在于，所述安放平台机构包括固定框架（
901
）
、
限位框（
902
）
、
限位槽（
903
）和转轴（
904
），所述固定框架（
901
）固定连接在两个所述连接导轨（
803
）之间，所述限位框（
902
）固定连接在固定框架（
901
）的内壁，所述限位槽（
903
）设置在限位框（
902
）的上表面，且限位槽（
903
）的内壁设置有缺口，所述转轴（
904
）固定插接在固定框架（
901
）的内壁
。4.
根据权利要求3所述的一种精细化重影对位蚀刻设备，其特征在于，所述托放盘机构包括托盘（
1001
）
、
连接座（
1002
）
、
卡块（
1003
）
、
簧片（
1004
）
、
滑销（
1005
）和限位腰孔（
1006
），所述托盘（
1001
）活动连接在限位槽（
903
）的内壁，所述连接座（
1002
）固定连接在托盘（
1001
）的上表面，所述卡块（
1003
）转动连接在连接座（
1002
）的内壁，所述簧片（
1004
）固定连接在连接座（
1002
）的表面，且簧片（
1004
）的一侧与卡块（
1003
）的一侧滑动连接，所述滑销（
1005
）一体式设置在卡块（
1003
）的两侧，所述限位腰孔（
1006
）贯穿开设在连接座（
1002
）的两侧，且卡块（
1003
）的表面与限位腰孔（
1006
）的内壁滑动连接
。5.
根据权利要求3所述的一种精细化重影对位蚀刻设备，其特征在于，所述封盖机构包括密封盖（
1101
）
、
玻璃板（
1102
）
、
拉槽（
1103
）
、
电磁锁（
1104
）和密封圈（
1105
），所述密封盖（
1101
）转动连接在转轴（
904
）的表面，所述玻璃板（
1102
）固定安装在密封盖（
1101
）的内壁，所述拉槽（
1103
）开设在密封盖（
1101
）的外表面，所述电磁锁（
1104
）安装在冲洗箱（1）和密封盖（
1101
）之间，所述密封圈（
1105
）固定连接在冲洗箱（1）的内壁
。6.
根据权利要求1所述的一种精细化重影对位蚀刻设备，其特征在于，所述喷淋机构包括导流管（
1201
）
、
雾化喷头（
1202
）
、
开关电磁阀（
1203
）
、
三通电磁阀（
1204
）
、
连接管（
1205
）
、
进水管（
1206
）
、
进液管（
1207
）和单向阀（
1208
），所述导流管（
1201
）固定安装在吊仓（5）的内壁，所述雾化喷头（
1202
）固定安装在导流管（
1201
）的底端，且雾化喷头（
1202
）位于吊仓（5）的底部，所述开关电磁阀（
1203
）和所述三通电磁阀（
1204
）均固定安装在仓板（6）的上表面，
且开关电磁阀（
1203
）的输出端与导流管（
1201
）的输入端固定连接，所述连接管（
1205
）固定连接在开关电磁阀（
1203
）的输入端与三通电磁阀（
1204
）的输出端之间，所述进水管（
1206
）和所述进液管（
1207
）分别设置在三通电磁阀（
1204
）的第一输入端和第二输入端，所述单向阀（
1208
）的数量为两个，且两个单向阀（
1208
）分别固定安装在三通电...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈凡，周武，刘波，
申请(专利权)人：昆山弗莱吉电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：