晶圆级胶体自组装热处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及纳米工艺领域，具体涉及一种提高热处理效率的晶圆级胶体自组装热处理装置。在方形底板上设置有分别靠近四个角部的转动链轮，四个所述的转动链轮通过链条传动，形成两条长边和两条短边的闭环，其中一个所述的转动链轮配合有一个位于方形底板底部的动力电机；在所述的方形底板上设置有两组分别罩住链条的两个长边的加热箱；在所述的链条的外侧连接有多个用于承载基片的载料小车。本实用新型专利技术的晶圆级胶体自组装热处理装置，启动动力电机后，带动转动链轮转动，链条运动带动载料小车环形运动，载上基片的载料小车进入到加热箱后停止一段时间，在该段时间中持续加热，加热完毕后再继续开出加热箱取料，方便了基板的热处理，提高了效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆级胶体自组装热处理装置
本技术涉及纳米工艺领域，具体涉及一种提高热处理效率的晶圆级胶体自组装热处理装置。
技术介绍
在纳米镀膜工艺当中，需要用到热处理工序，对基片进行热处理。现有的热处理方式主要有传动式热处理，即一边热处理一边输送基片；另一种是集中式热处理，即将基片物料堆积在一起热处理一段时间，然后取出。这两种热处理方式的热处理效率都较低，要么是热处理不彻底，要么是需要的热处理时间长。因此，需要一种装置来提高热处理效率。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术提供一种提高热处理效率的晶圆级胶体自组装热处理装置。本技术解决上述问题所采取的方案是：晶圆级胶体自组装热处理装置，包括方形底板，在该方形底板上设置有分别靠近四个角部的转动链轮，四个所述的转动链轮通过链条传动，形成两条长边和两条短边的闭环，其中一个所述的转动链轮配合有一个位于方形底板底部的动力电机；在所述的方形底板上设置有两组分别罩住链条的两个长边的加热箱；在所述的链条的外侧连接有多个用于承载基片的载料小车。进一步地，为了更好的实现本技术，还包括有安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.晶圆级胶体自组装热处理装置，其特征在于：包括方形底板(1)，在该方形底板(1)上设置有分别靠近四个角部的转动链轮(4)，四个所述的转动链轮(4)通过链条(5)传动，形成两条长边和两条短边的闭环，其中一个所述的转动链轮(4)配合有一个位于方形底板(1)底部的动力电机(6)；在所述的方形底板(1)上设置有两组分别罩住链条(5)的两个长边的加热箱(3)；在所述的链条(5)的外侧连接有多个用于承载基片(8)的载料小车(7)。/n

【技术特征摘要】
1.晶圆级胶体自组装热处理装置，其特征在于：包括方形底板(1)，在该方形底板(1)上设置有分别靠近四个角部的转动链轮(4)，四个所述的转动链轮(4)通过链条(5)传动，形成两条长边和两条短边的闭环，其中一个所述的转动链轮(4)配合有一个位于方形底板(1)底部的动力电机(6)；在所述的方形底板(1)上设置有两组分别罩住链条(5)的两个长边的加热箱(3)；在所述的链条(5)的外侧连接有多个用于承载基片(8)的载料小车(7)。


2.根据权利要求1所述的晶圆级胶体自组装热处理装置，其特征在于：还包括有安装在方形底板(1)上的控制器，所述的动力电机(6)和所述的加热箱(3)均与该控制器连接。


3.根据权利要求2所述的晶圆级胶体自组装热处理装置，其特征在于：在所述的方形底板(1)上通过支架支撑有载料小车(7)运动的小车轨道(2)。


4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢超，汪红波，陈彪，李刚，
申请(专利权)人：苏州微之纳智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32