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本实用新型涉及纳米工艺领域，具体涉及一种提高热处理效率的晶圆级胶体自组装热处理装置。在方形底板上设置有分别靠近四个角部的转动链轮，四个所述的转动链轮通过链条传动，形成两条长边和两条短边的闭环，其中一个所述的转动链轮配合有一个位于方形底板底部...
该专利属于苏州微之纳智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微之纳智能科技有限公司授权不得商用。

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