溅镀靶材及调整溅镀靶材周围磁力线分布的方法技术

一种溅镀靶材及调整溅镀靶材周围磁力线分布的方法，所述溅镀靶材包含靶坯、背板单元、数个磁性件及数个固定件。所述背板单元包括与所述靶坯间隔设置的背板及接合层，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面及反向于所述第一板面的第二板面。所述接合层设置于所述第一板面。所述磁性件设置于所述靶坯的底面与所述背板的第一板面间。所述固定件分别对应于所述磁性件，所述固定件具有导电、导热及耐高温的性质且接合于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，每一所述固定件的熔点高于所述接合层的熔点，所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间。本发明专利技术不需开槽，且结构及工序较为简单，调整磁力线的方式也较为便利。

【技术实现步骤摘要】
溅镀靶材及调整溅镀靶材周围磁力线分布的方法
本专利技术涉及一种溅镀靶材，特别是涉及一种溅镀靶材及调整溅镀靶材周围磁力线分布的方法。
技术介绍
参阅图1，一种现有的溅镀靶材装置安装在一溅镀机1，所述溅镀机1具有数个永久磁石MS，所述溅镀靶材装置包括一邻近于所述永久磁石MS的基板11、至少一磁性件12及一靶材13。所述基板11的顶面开设有至少一容置槽111，所述磁性件12通过一固定件14嵌固在所述容置槽111，所述靶材13的底面朝向所述基板11且覆盖于所述基板11的顶面并固定于所述基板11。通过多个所述磁性件12的磁性可改变所述永久磁石MS作用在所述靶材13的磁力线，进而使所述靶材13能均匀地消耗。虽然前述的溅镀靶材装置具有上述的使用特性，但由于所述磁性件12是嵌置在所述基板11的容置槽111内，所述磁性件12的设置位置受到所述容置槽111的限制，无法随意设置在所需要的位置，因此，要调整磁力线较为不便。参阅图2与图3，另一种现有的溅镀靶材装置则是先在一基板15上涂布一第一软质黏胶层16，再将数个磁性件17暂放在所述基板15的预定位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅镀靶材，其特征在于：包含：/n靶坯，包括靶面，及反向于所述靶面的底面；/n背板单元，包括与所述靶坯间隔设置的背板，及接合层，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面、反向于所述第一板面的第二板面，及位于内部且用来降温的水道，所述接合层设置于所述第一板面；/n数个磁性件，设置于所述靶坯的底面与所述背板的第一板面间；及/n数个固定件，分别对应于所述磁性件且设置于所述磁性件，所述固定件具有导电、导热及耐高温的性质且接合于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，每一所述固定件的熔点高于所述接合层的熔点，所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间，借此，将所述磁性件固定于所述靶坯与所述背板单元间。...

【技术特征摘要】
20200729 TW 1091255251.一种溅镀靶材，其特征在于：包含：
靶坯，包括靶面，及反向于所述靶面的底面；
背板单元，包括与所述靶坯间隔设置的背板，及接合层，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面、反向于所述第一板面的第二板面，及位于内部且用来降温的水道，所述接合层设置于所述第一板面；
数个磁性件，设置于所述靶坯的底面与所述背板的第一板面间；及
数个固定件，分别对应于所述磁性件且设置于所述磁性件，所述固定件具有导电、导热及耐高温的性质且接合于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，每一所述固定件的熔点高于所述接合层的熔点，所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间，借此，将所述磁性件固定于所述靶坯与所述背板单元间。


2.根据权利要求1所述的溅镀靶材，其特征在于：所述接合层是铟、锡锌、锡银的其中一者。


3.根据权利要求1所述的溅镀靶材，其特征在于：每一所述固定件是一种加热固化型的焊料。


4.根据权利要求1所述的溅镀靶材，其特征在于：每一所述固定件是一种常温固化型的焊料。


5.一种调整溅镀靶材周围磁力线分布的方法，其特征在于：包含下列步骤：
(1)准备靶坯及背板，所述靶坯包括靶面及反向于所述靶面的底面，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面及反向于所述第一板面的第二板面；
(2)准备数个磁性件及数个固定件，每一所述固定件具有导电、导热及耐高温的性质，将每一所述磁性件配合一个所述固定件按照预定位置黏贴于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，
并使所述固定件固化而形成数个磁性单元；
(3)准备接合层，使所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间并形成所述溅...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄民育，张廖万民，陈志豪，韩中明，
申请(专利权)人：优贝克科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71