下载溅镀靶材及调整溅镀靶材周围磁力线分布的方法的技术资料

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一种溅镀靶材及调整溅镀靶材周围磁力线分布的方法,所述溅镀靶材包含靶坯、背板单元、数个磁性件及数个固定件。所述背板单元包括与所述靶坯间隔设置的背板及接合层,所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面及反向于所述第一板面的第二板面。所述接合层设置...
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