一种改进型称重传感器光刻设备制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻设备技术领域，具体涉及一种改进型称重传感器光刻设备，包括底座，底座上表面后侧固定有安装框，安装框内转动设置有螺杆，安装框顶端固定有伺服电机，伺服电机的动力输出轴通过轴承贯穿安装框顶部固定连接螺杆上端，螺杆上螺接贯穿有滑块，滑块滑动设置在安装框内，滑块两端固定有限位块，所安装框内壁对应限位块位置设置有限位滑槽，滑块前端固定有移动轨道，移动轨道底部设置有光刻组件，底座上表面等距离固定有三个工作台，工作台上设置有固定组件；本实用新型专利技术通过机械代替人工从而调节光刻组件的位置，节省劳动力的同时还保证了移动精度，通过固定组件能够有效将芯片板进行固定，保证了芯片加工的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种改进型称重传感器光刻设备
本技术涉及光刻设备
，具体涉及一种改进型称重传感器光刻设备。
技术介绍
光刻技术是指在光照作用下，借助光致抗蚀剂(又名光刻胶)将掩膜版上的图形转移到基片上的技术，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。称重传感器在生产过程中需要将芯片贴在弹性体上，由于芯片体积较小，因而芯片生产过程中需要进行光刻，但是，现有光刻技术中不能随意调节光刻组件与工作台的距离，而且现有的光刻设备不能在工作台上端移动，不方便工作人员的工作。为此，公开号为CN210402010U的专利中公开了一种半导体单片集成电路的光刻设备，包括底座，底座上表面两端分别设置有收缩杆，且底座上表面设置有喷胶台，喷胶台一侧设置有软烘台，软烘台一侧设置有曝光台，收缩杆上端设置有移动杆，且收缩杆一侧设置有固定螺丝，移动杆上端连接有背墙，背墙一侧设置有移动轨道，移动轨道下端设置有光刻组件。但该设备使用时存在以下不足：一是该设备直接将待加工的芯片板放置喷胶台、软烘台和曝光台上，在进行加工过程中容易本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改进型称重传感器光刻设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面后侧固定有安装框(2)，所述安装框(2)内转动设置有螺杆(3)，所述安装框(2)顶端固定有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的动力输出轴通过轴承贯穿安装框(2)顶部固定连接螺杆(3)上端，所述螺杆(3)上螺接贯穿有滑块(5)，所述滑块(5)滑动设置在安装框(2)内，所述滑块(5)两端固定有限位块(6)，所安装框(2)内壁对应限位块(6)位置设置有限位滑槽(7)，所述滑块(5)前端固定有移动轨道(8)，所述移动轨道(8)底部设置有光刻组件(9)，所述底座(1)上表面等距离固定有三个工作台(10)，所述工作台(10)...

【技术特征摘要】
1.一种改进型称重传感器光刻设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面后侧固定有安装框(2)，所述安装框(2)内转动设置有螺杆(3)，所述安装框(2)顶端固定有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的动力输出轴通过轴承贯穿安装框(2)顶部固定连接螺杆(3)上端，所述螺杆(3)上螺接贯穿有滑块(5)，所述滑块(5)滑动设置在安装框(2)内，所述滑块(5)两端固定有限位块(6)，所安装框(2)内壁对应限位块(6)位置设置有限位滑槽(7)，所述滑块(5)前端固定有移动轨道(8)，所述移动轨道(8)底部设置有光刻组件(9)，所述底座(1)上表面等距离固定有三个工作台(10)，所述工作台(10)上均设置有固定组件(11)。


2.根据权利要求1所述的一种改进型称重传感器光刻设备，其特征在于：所述光刻组件(9)包括移动器(91)、烘干器(92)、光刻胶杆(93)、激光器(94)和热源(95)，所述移动器(91)下端连接有热源(95)，所述热源(95)两端设置有光刻胶杆(93)，所述光刻胶杆(93)与热源(95)底端连接有烘干器(92)，所述烘干器(92)下方设置有激光器(94)。


3.根据权利要求1所述的一种改进型称重传感器光刻设备，其特征在于：所述固定组件(11)包括两个对称设置的双向丝杠(110)，所述工作台(10)对应双向丝杠(110)位置开设有安装槽(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘爱平，耿冬霞，
申请(专利权)人：盐城市世波电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32