下载一种改进型称重传感器光刻设备的技术资料

文档序号:26605637

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本实用新型涉及光刻设备技术领域,具体涉及一种改进型称重传感器光刻设备,包括底座,底座上表面后侧固定有安装框,安装框内转动设置有螺杆,安装框顶端固定有伺服电机,伺服电机的动力输出轴通过轴承贯穿安装框顶部固定连接螺杆上端,螺杆上螺接贯穿有滑块,...
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