一种高灵敏度霍尔传感器及其制造方法技术

本发明专利技术属于霍尔传感器技术领域，涉及一种高灵敏度霍尔传感器及其制造方法，该霍尔传感器包括衬底、有源层、隔离层和四个电极层；有源层设置于衬底上，隔离层和四个电极层均设置于有源层上，且所有电极层分散设置于隔离层的外围；隔离层包括层叠设置的第一层和第二层，第一层设置于有源层和第二层之间；第一层掺杂有第一离子，第二层掺杂有第二离子，且第一离子的注入能量大于第二离子的注入能量，第一离子的注入剂量小于第二离子的注入剂量。该高灵敏度霍尔传感器及其制造方法提供的技术方案能够保证霍尔传感器的等效内阻不会增大，以提升该霍尔传感器的灵敏度。总之，该霍尔传感器具有结构简单、稳定性高、灵敏度高的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种高灵敏度霍尔传感器及其制造方法
本专利技术涉及霍尔传感器
，尤其涉及一种高灵敏度霍尔传感器及其制造方法。
技术介绍
磁场传感器是一种将磁场转成相应电信号的电子器件。霍尔效应物理本质是洛伦兹力影响了电流中载流子的运动方向。当偏置电流流过一个通有磁场的导体或半导体时，洛伦兹力使载流子的运动方向偏离偏置电流和磁场方向，于是载流子在另一方向上聚集，产生电势差，即和偏置电流和磁场大小成比例的霍尔电压。利用霍尔效应实现的磁场传感器就是霍尔传感器，得益于和微电子工艺的完美结合，低成本的霍尔传感器己经成为最广泛使用的磁场传感器，目前市场销售额达到数十亿美元。它通常作为无接触式传感器的关键部件用于线性位置、旋转角度、速度和电流等检测，己广泛应用在工业控制、消费电子、汽车工业等领域。霍尔传感器作为一种标准测量工具，需要具有优秀的稳定性及可靠性。然而，表面效应会导致霍尔传感器的灵敏性和不稳定性。探测区上会有数量不可控的电荷，这些电荷会吸引与探测区的有源层中极性相反的载流子，从而改变霍尔传感器的性能，这种现象叫做表面效应。为了减小表面效应，目本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高灵敏度霍尔传感器，其特征在于，所述高灵敏度霍尔传感器包括：衬底、有源层、隔离层和四个电极层；/n所述有源层设置于所述衬底上，所述隔离层和四个所述电极层均设置于所述有源层上，且所有所述电极层分散设置于所述隔离层的外围；/n所述隔离层包括层叠设置的第一层和第二层，所述第一层设置于所述有源层和所述第二层之间；所述第一层掺杂有第一离子，所述第二层掺杂有第二离子，且所述第一离子的注入能量大于所述第二离子的注入能量，所述第一离子的注入剂量小于所述第二离子的注入剂量。/n

【技术特征摘要】
1.一种高灵敏度霍尔传感器，其特征在于，所述高灵敏度霍尔传感器包括：衬底、有源层、隔离层和四个电极层；
所述有源层设置于所述衬底上，所述隔离层和四个所述电极层均设置于所述有源层上，且所有所述电极层分散设置于所述隔离层的外围；
所述隔离层包括层叠设置的第一层和第二层，所述第一层设置于所述有源层和所述第二层之间；所述第一层掺杂有第一离子，所述第二层掺杂有第二离子，且所述第一离子的注入能量大于所述第二离子的注入能量，所述第一离子的注入剂量小于所述第二离子的注入剂量。


2.根据权利要求1所述的高灵敏度霍尔传感器，其特征在于，所述高灵敏度霍尔传感器还包括保护层；所述保护层层叠设置于所述隔离层和四个所述电极层的顶端。


3.根据权利要求2所述的高灵敏度霍尔传感器，其特征在于，所述保护层包括聚酰亚胺材料层。


4.根据权利要求2所述的高灵敏度霍尔传感器，其特征在于，于所述电极层的位置，所述保护层开设有沿所述电极层长度方向设置的至少三个条形孔，三个所述条形孔并列设置，且每一所述条形孔连通对应的所述电极层。


5.根据权利要求1至4任一项所述的高灵敏度霍尔传感器，其特征在于，所述第一层和所述第二层的掺杂类型均为P型掺杂。


6.根据权利要求5所述的高灵敏度霍尔传感器，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾南雁，胡慧雄，李龙，赵成政，郑哲，
申请(专利权)人：东莞市金誉半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44