下载一种高灵敏度霍尔传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:26603590

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本发明属于霍尔传感器技术领域,涉及一种高灵敏度霍尔传感器及其制造方法,该霍尔传感器包括衬底、有源层、隔离层和四个电极层;有源层设置于衬底上,隔离层和四个电极层均设置于有源层上,且所有电极层分散设置于隔离层的外围;隔离层包括层叠设置的第一层和...
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