本实用新型专利技术提供一种真空机械手的磁流体密封传动装置，包括安装座、传动轴、内侧传动轴、第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构，所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构，所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构，内侧传动轴的轴向两端设置有末端连接机构，所述传动轴两侧分别设置有传动齿轮。传动轴一端通过传动齿轮真空机械手的第一从动轴连接，另一端与外部第一驱动轴连接；内侧传动轴一端通过末端连接机构与真空机械手的第二从动轴连接，另一端通过末端连接机构与外部的第二驱动轴连接，传动轴和内侧传动轴分别传递不同的驱动力，避免在真空机械手的真空腔内安装多个磁流体密封传动装置，整体结构紧凑。
【技术实现步骤摘要】
一种真空机械手的磁流体密封传动装置
本技术涉及磁流体密封
，尤其涉及一种真空机械手的磁流体密封传动装置。
技术介绍
随着经济的发展，国内外真空设备发展迅猛。在许多回转动密封装置上，磁流体密封得到了广泛的应用，例如在单晶硅炉、真空钎焊炉、真空熔炼炉、化学气相沉积、离子镀膜、液晶再生等真空设备的密封，以及高温高压设备及对环境要求较高的设备的密封。真空机械手主要应用于半导体生产工业中，实现晶圆及半导体半成品和成品在真空腔内的传输。磁流体密封是指当磁流体注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”。磁流体密封技术在磁流体这一全新功能材料出现后才发展起来，机械手通常由两个或两个以上的关节驱动末端进行运动，现有技术中，外端驱动装置放置在大气中，而通过密封传动装置将驱动力传递给真空腔内的关节，多个关节需要通过多个传动装置进行传动，结构较复杂。
技术实现思路
为解决上述技术问题，提供一种真空机械手的磁流体密封传动装置，结构紧凑，可以同时进行两轴传动。一种真空机械手的磁流体密封传动装置，包括安装座、传动轴、内侧传动轴和磁流体密封机构，所述磁流体密封机构包括第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构，所述安装座内套设有传动轴，所述传动轴内套设有内侧传动轴，所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构，所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构，内侧传动轴的轴向两端设置有末端连接机构，所述传动轴两侧分别设置有传动齿轮。优选的，所述末端连接机构包括设置在内侧传动轴两端的连接槽。优选的，所述末端连接机构包括设置在所述内侧传动轴侧壁的传动齿轮，传动齿轮靠近所述内侧传动轴两端。优选的，所述磁流体密封机构包括磁流体密封轴承。优选的，所述第一磁流体密封机构包括安装在所述安装座内侧壁的第一轴承、第一极靴和第一永磁体，所述第一永磁体两端设置有第一极靴，所述第一极靴一侧设置有第一轴承，与所述第一极靴内侧壁贴近的传动轴侧壁上设有环形的第一磁液槽，所述第一磁液槽上设有磁流体，所述传动轴的外侧壁安装在所述第一轴承的内环上。优选的，所述第二磁流体密封机构包括安装在所述传动轴内侧壁的第二轴承、第二极靴和第二永磁体，所述第二永磁体两端设置有第二极靴，所述第二极靴一侧设置有第二轴承，所述第二极靴内侧壁贴近所述内侧传动轴侧壁，所述第二极靴内侧壁上设有环形的第二磁液槽，所述第二磁液槽上设有磁流体。优选的，所述安装座的端面上设置有密封垫圈。优选的，所述安装座上设置有环状突缘，所述环状突缘上设置有安装螺钉。优选的，本技术还包括第三传动轴，所述第三传动轴套设在所述内侧传动轴内，所述第三传动轴、内侧传动轴和传动轴同轴设置，所述磁流体密封机构还包括第三磁流体密封机构，所述第三传动轴与内侧传动轴之间有第三磁流体密封机构。优选的，所述第三传动轴内设有真空管道。与现有技术相比本技术的有益效果为：1.传动轴一端通过传动齿轮真空机械手的第一从动轴连接，另一端与外部第一驱动轴连接；内侧传动轴一端通过末端连接机构与真空机械手的第二从动轴连接，另一端通过末端连接机构与外部的第二驱动轴连接，从而将外部的驱动力传递到真空机械手上，传动轴和内侧传动轴分别传递不同的驱动力，通过一个传动装置同时驱动两个从动轴，避免在真空机械手的真空腔内安装多个磁流体密封传动装置；2.采用轴中轴的设计，整体结构紧凑，减小传动轴和内侧传动轴之间不同心以及惯量不对称的问题；3.多个传动轴同轴设置，利于简化真空机械手的关节运动学正逆解运算；4.第三传动轴上设有真空管道，真空管道两端用于分别与真空腔和大气端的外部装置连通，便于通过气体进行吸或吹的操作。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的剖示图。附图中标记：1-安装座，11-密封垫圈，12-环状突缘，13-安装螺钉，2-传动轴，21-传动齿轮，22-内侧传动轴，23-第三传动轴，31-第一永磁体，32-第一极靴，33-第一轴承，34-第一磁液槽，4-真空管道，5-第一磁流体密封机构，6-第二磁流体密封机构，61-第二永磁体，62-第二极靴，63-第二轴承，64-第二磁液槽，7-第三磁流体密封机构。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。一种真空机械手的磁流体密封传动装置，如图1和图2所示，包括安装座1、传动轴2、内侧传动轴22和磁流体密封机构，所述磁流体密封机构包括第一磁流体密封机构5和第二磁流体密封机构6，安装座1内套设有传动轴2，传动轴2内套设有内侧传动轴22，传动轴2与安装座1之间设有第一磁流体密封机构5，传动轴2与内侧传动轴22之间设置有第二磁流体密封机构6，内侧传动轴22的轴向两端设置有末端连接机构，传动轴2两侧分别设置有传动齿轮21。传动轴2一端通过传动齿轮21真空机械手的第一从动轴连接，另一端与外部第一驱动轴连接；内侧传动轴22一端通过末端连接机构与真空机械手的第二从动轴连接，另一端通过末端连接机构与外部的第二驱动轴连接，从而将外部的驱动力传递到真空机械手上，传动轴和内侧传动轴分别传递不同的驱动力，通过一个传动装置同时驱动两个从动轴，避免在真空机械手的真空腔内安装多个磁流体密封传动装置，采用轴中轴的设计，整体结构紧凑，减小传动轴和内侧传动轴之间不同心以及惯量不对称的问题；磁流体密封机构属于旋转密封机构，用于连接安装座和传动轴之间、传动轴和内侧传动轴之间的旋转密封。所述末端连接机构可以采用多种结构，一种末端连接机构包括的结构：包括设置在所述内侧传动轴22两端的连接槽，通过内侧传动轴22端面上的连接槽与主动轴或从动轴连接；第二种所述末端连接机构：包括设置在内侧传动轴22侧壁的传动齿轮21，传动齿轮靠近所述内侧传动轴22两端，采用传动轴相同的连接机构。所述磁流体密封机构可以采用磁流体密封轴承，第一磁流体密封机构5和第二磁流体密封机构6同样采用磁流体密封轴承。第一磁流体密封机构5也可以采用以下结构：包括安装在安装座1内侧壁的第一轴承33、第一极靴32和第一永磁体31，第一永磁体31两端设置有第一极靴32，第一极靴32一侧设置有第一轴承33，与第一极靴32内侧壁贴近的传动轴2侧壁上设有环形的第一磁液槽34，第一磁液槽34上设有磁流体，传动轴2的外侧壁安装在第一轴承33的内环上。第一轴承33为传动轴2提供支撑力，第一极靴32用于传递磁场，所述磁流体在第一永磁体磁场的作用下沿第一磁液槽34在第一极靴和传动轴之间形成液态密封圈，从而起到密封的作用。所述第二磁流体密封机构6可以采用与第一磁流体密封机构5相同的结构，还可以采用以下结构：包括第二轴承63、第二极靴62和第二永磁体61，第二永磁体61两端设置有第二极靴62，第二极靴62外端设置有第二轴承63，第二极靴62内侧壁贴近传动轴2侧壁，第二极靴62内侧壁上设有环形的第二磁液槽64，第二磁液本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空机械手的磁流体密封传动装置，其特征在于，包括安装座、传动轴、内侧传动轴和磁流体密封机构，所述磁流体密封机构包括第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构，/n所述安装座内套设有传动轴，所述传动轴内套设有内侧传动轴，所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构，所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构，内侧传动轴的轴向两端分别设置有末端连接机构，所述传动轴两侧分别设置有传动齿轮。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空机械手的磁流体密封传动装置，其特征在于，包括安装座、传动轴、内侧传动轴和磁流体密封机构，所述磁流体密封机构包括第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构，
所述安装座内套设有传动轴，所述传动轴内套设有内侧传动轴，所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构，所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构，内侧传动轴的轴向两端分别设置有末端连接机构，所述传动轴两侧分别设置有传动齿轮。
2.根据权利要求1所述的真空机械手的磁流体密封传动装置，其特征在于，所述末端连接机构包括设置在内侧传动轴两端的连接槽。
3.根据权利要求1所述的真空机械手的磁流体密封传动装置，其特征在于，所述末端连接机构包括设置在所述内侧传动轴侧壁的传动齿轮，传动齿轮靠近所述内侧传动轴两端。
4.根据权利要求1所述的真空机械手的磁流体密封传动装置，其特征在于，所述磁流体密封机构包括磁流体密封轴承。
5.根据权利要求1所述的真空机械手的磁流体密封传动装置，其特征在于，所述第一磁流体密封机构包括安装在所述安装座内侧壁的第一轴承、第一极靴和第一永磁体，所述第一永磁体两端设置有第一极靴，所述第一极靴一侧设置有第一轴承，与所述第一极靴内侧壁贴近的传动轴侧壁上设...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷世友，张松华，
申请(专利权)人：杭州铂利雅精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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