一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置制造方法及图纸

技术编号:26598298 阅读:31 留言:0更新日期:2020-12-04 21:20
本实用新型专利技术提供一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置,包括壳体、安装在壳体内的传动轴、磁流体密封机构和冷却机构,磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔,所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管,壳体右端通过连接机构安装在真空腔上,传动轴两端分别通过连接机构与真空腔的从动轴和外部驱动轴连接,磁流体密封机构用于密封传动轴,便于保持真空腔内的真空度,壳体冷却管通过壳体降温或保温,轴冷却管用于传动轴的冷却和保温,防止高温对磁流体密封机构造成影响,保证磁流体密封机构正常工作,冷却腔用于对磁流体密封机构右侧的气体或壳体进行预冷,以提高磁流体密封机构的冷却效果或保温效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置
本技术涉及磁流体密封传动装置的领域,尤其涉及一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置。
技术介绍
离子束刻蚀也称为离子铣,通过定向高能离子向固体靶撞击时,能量从入射离子转移到固体表面原子上,当固体表面原子间结合能低于入射离子能量时,固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。离子束刻蚀装置已代替湿法腐蚀,广泛应用到工业生产和加工的领域。离子束通常需要在较高的真空度条件下才能被激发,因此通常通过密封传动装置将大气端的外部驱动力传递到离子束刻蚀装置内。磁流体密封传动装置,由于使用寿命长、没有机构磨损、适用真空度高等性能,已广泛应用于旋转密封的场合。磁流体既具有液体的流动性,以具有固体磁性材料的磁性,在离子束刻蚀等需要在高温或低温环境,会影响磁流体的流动性和磁性,对磁流体密封装置产生非常大的影响。
技术实现思路
为解决上述技术问题,提供一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置,使磁流体密封机构保持在正常工作温度下。一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置,包括壳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置,包括壳体和安装在壳体内的传动轴,其特征在于,还包括磁流体密封机构和冷却机构,所述壳体的内侧设置有磁流体密封机构,所述磁流体密封机构的内侧壁与所述传动轴的外侧壁连接,/n所述磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔,所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管,所述壳体外侧壁上设置有进液口和出液口,所述进液口和出液口分别与所述壳体冷却管的两端连通,/n所述壳体冷却管从所述壳体的左侧经过所述冷却腔的外侧壁向右侧延伸,/n所述旋转密封依次间隔设置在所述磁流体密封机构的左侧,所述旋转密封之间构成流动腔,所述流动腔包括进液腔和出液腔,所述传动轴内设置有向右...

【技术特征摘要】
1.一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置,包括壳体和安装在壳体内的传动轴,其特征在于,还包括磁流体密封机构和冷却机构,所述壳体的内侧设置有磁流体密封机构,所述磁流体密封机构的内侧壁与所述传动轴的外侧壁连接,
所述磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔,所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管,所述壳体外侧壁上设置有进液口和出液口,所述进液口和出液口分别与所述壳体冷却管的两端连通,
所述壳体冷却管从所述壳体的左侧经过所述冷却腔的外侧壁向右侧延伸,
所述旋转密封依次间隔设置在所述磁流体密封机构的左侧,所述旋转密封之间构成流动腔,所述流动腔包括进液腔和出液腔,所述传动轴内设置有向右侧延伸的轴冷却管,所述轴冷却管的两端分别与所述进液腔和出液腔连通,所述进液腔和出液腔分别与所述进液口和出液口连通,传动轴两端分别设置有连接机构。


2.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置,其特征在于,所述轴冷却管进液的一段靠近所述传动轴外侧壁,所述轴冷却管出液的一段靠近所述传动轴的轴线。


3.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置,其特征在于,还包括液冷循环机,所述液冷循环机的出液端与所述进液口连接,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:雷世友张松华
申请(专利权)人:杭州铂利雅精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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