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本实用新型提供一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置，包括壳体、安装在壳体内的传动轴、磁流体密封机构和冷却机构，磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔，所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管，壳体右端通过连接机构安装在真空腔上，...
该专利属于杭州铂利雅精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州铂利雅精密机械有限公司授权不得商用。

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