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本实用新型提供一种真空机械手的磁流体密封传动装置,包括安装座、传动轴、内侧传动轴、第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构,所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构,所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构,内侧传动轴的轴向...该专利属于杭州铂利雅精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州铂利雅精密机械有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种真空机械手的磁流体密封传动装置,包括安装座、传动轴、内侧传动轴、第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构,所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构,所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构,内侧传动轴的轴向...