单晶炉增氧加热器制造技术

一种单晶炉增氧加热器，涉及单晶炉部件技术领域，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径相对于传统加热器的外径缩小，根据电阻=电阻率×长度/横截面积的公式，在增氧加热器的电阻率和长度不能改变的情况下，改变横截面积，增大电阻值，以增大增氧加热器的发热量，使得加热器的且温区增大，进而使得石英坩埚底部受加热器辐射的热量多，氧的溶解反应加快，增加晶棒尾部的氧含量，相比于传统加热器，在固定时间内增加了氧的溶解量。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉增氧加热器
本技术涉及单晶炉部件
，具体涉及一种单晶炉增氧加热器。
技术介绍
加热器是热场的核心部件，主要提供单晶生长所需的热量，用于加热溶解石英坩埚中的氧，氧是单晶硅中重要的一种杂质，在CZ拉晶中，氧通过石英坩埚的溶解进入到熔硅中，氧含量对硅片的内吸杂能力，硅片的机械强度及电阻率（热施主效应）都有很大的影响。目前重掺锑产品要求高氧含量，范围在10-18ppma，但是，锑单晶中氧沉积受抑制，氧分布从头至尾递减，而传统加热器的加热中心在加热器的中心位置且温区较短，石英坩埚底部受加热器辐射的热量少，氧的溶解反应慢，导致晶棒尾部的氧含量低于标准，因此，在固定时间内增加氧的溶解量是急需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种增加氧的溶解反应的单晶炉增氧加热器。一种单晶炉增氧加热器，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径为552mm，以使增氧段的电阻增大，从而增大单晶炉增氧加热器整本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉增氧加热器，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，其特征在于：包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径为552mm，以使增氧段的电阻增大，从而增大单晶炉增氧加热器整体的热量，进而加快石英坩埚中氧的溶解反应，提高氧的溶解量。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉增氧加热器，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，其特征在于：包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径为552mm，以使增氧段的电阻增大，从而增大单晶炉增氧加热器整体的热量，进而加快石英坩埚中氧的溶解反应，提高氧的溶解量。


2.如权利要求1所述的单晶炉增氧加热器，其特征在于：所述标准段与增氧段的长度和为石英坩埚长度的1.6~1.8倍。


3.如权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫龙，魏兴彤，王忠宝，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64