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一种单晶炉增氧加热器，涉及单晶炉部件技术领域，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径相对于传统加热器的外径缩小，根据电阻=电...
该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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