晶棒吊装运输装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶棒吊装运输装置，该装置中设有机架构件、调整构件及吊运构件，调整构件的第一端高度可调地安装在机架构件上，第二端与吊运构件的固定端连接；吊运构件包括吊运架组件及至少一个夹取组件，吊运架组件的顶部安装在调整构件的第二端；各夹取组件均包括夹取架及两个结构相同的夹具组，夹取架的第一端与吊运架组件的底部连接，两个夹具组对称安装在夹取架的两侧，且靠近夹取架的第二端，各夹具组均设有沿同一圆周方向分布的三个可伸缩夹具；如此，三个可伸缩夹具的夹取端同步伸缩并同时接触晶棒表面，形成三点均匀抱合，以对不同直径晶棒产生自适应夹持力，有效避免滑脱与应力集中，从而稳定吊运不同尺寸晶棒。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造，尤其涉及一种晶棒吊装运输装置。

技术介绍

1、晶棒为人工制备的高纯度单晶硅材料，因其具有高纯度、优良的电气性能和稳定的晶体结构，被广泛应用于集成电路、太阳能电池和微电子设备生产领域；由于晶棒通常体积和重量大且脆弱易碎，决定了在生产线和仓储环节中，必须采用专业的吊装设备来确保稳定搬运，避免因碰撞或振动导致晶棒产生裂纹、崩边甚至断裂，造成巨大损失。

2、然而，现有的晶棒吊装设备通常只能吊运特定直径的晶棒，这是由于这些设备的吊具，例如，机械爪和吊钩等都只能匹配预设的尺寸规格，当晶棒的直径小于或大于预设的尺寸规格时，现有的吊运设备难以提供充足的夹持力，晶棒易滑脱受损，为了保证能够稳定吊运晶棒，就需要根据不同直径的晶棒更换不同规格的吊运设备，导致晶棒的搬运效率降低。

技术实现思路

1、有鉴于此，有必要提供一种晶棒吊装运输装置，能够稳定吊运不同尺寸的晶棒，从而提升晶棒的搬运效率。

2、本专利技术提供了一种晶棒吊装运输装置，包括机架构件、调整构件及吊运构件，所述机架构件用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶棒吊装运输装置，其特征在于，包括机架构件、调整构件及吊运构件，所述机架构件用于支撑和移动整个装置；所述调整构件的第一端高度可调地安装在机架构件上，第二端与所述吊运构件的固定端连接，以调整吊运构件的高度；所述吊运构件包括吊运架组件及至少一个夹取组件，所述吊运架组件的顶部安装在调整构件的第二端；各夹取组件均包括夹取架及两个结构相同的夹具组，所述夹取架的第一端与吊运架组件的底部连接，两个夹具组对称安装在夹取架的两侧，且靠近夹取架的第二端，各夹具组均设有三个可伸缩夹具，且三个可伸缩夹具的夹取端沿同一圆周方向分布；三个可伸缩夹具能够同步伸缩运动，以随着三个可伸缩夹具的同步伸缩从不同方向对...

【技术特征摘要】

1.一种晶棒吊装运输装置，其特征在于，包括机架构件、调整构件及吊运构件，所述机架构件用于支撑和移动整个装置；所述调整构件的第一端高度可调地安装在机架构件上，第二端与所述吊运构件的固定端连接，以调整吊运构件的高度；所述吊运构件包括吊运架组件及至少一个夹取组件，所述吊运架组件的顶部安装在调整构件的第二端；各夹取组件均包括夹取架及两个结构相同的夹具组，所述夹取架的第一端与吊运架组件的底部连接，两个夹具组对称安装在夹取架的两侧，且靠近夹取架的第二端，各夹具组均设有三个可伸缩夹具，且三个可伸缩夹具的夹取端沿同一圆周方向分布；三个可伸缩夹具能够同步伸缩运动，以随着三个可伸缩夹具的同步伸缩从不同方向对晶棒进行夹持。

2.如权利要求1所述的晶棒吊装运输装置，其特征在于，所述机架构件包括架体组件及驱动组件，所述架体组件为内部中空的矩形框体；所述驱动组件包括两个前轮架及两个后轮架，两个前轮架对称安装在架体组件的底部，且位于架体组件的第一端；各前轮架上均设置有至少一个前轮；两个后轮架对称安装在架体组件的底部，且位于架体组件的第二端；各后轮架的底部设置有万向轮，用于调整架体组件的行进方向；各后轮架的顶部设置有扶手件，以便于操作人员推动架体组件行进。

3.如权利要求2所述的晶棒吊装运输装置，其特征在于，所述调整构件包括高度调整组件，所述高度调整组件包括两根第一调整杆、调整台及两个第一驱动电机，两根第一调整杆均可转动地安装在所述架体组件的内部，且沿着架体组件的高度方向设置；所述调整台以水平方向安装在架体组件内部，且和两根第一调整杆螺纹连接，以随着两根第一调整杆的旋转改变高度，每一个第一驱动电机的固定端均与架体组件固定连接，驱动端与一根第一调整杆传动连接，以通过第一驱动电机驱动第一调整杆旋转，从而对调整台的高度进行调整。

4.如权利要求3所述的晶棒吊装运输装置，其特征在于，所述调整构件还包括方向调整组件，所述方向调整组件包括套筒、转轴及第二驱动电机，所述套筒固定安装在所述调整台的顶面，转轴的第一端可转动地安装在套筒内，第二端与所述吊运架组件连接，以通过转轴的旋转调整所述吊运架组件及与其连接的夹取组件的朝向，从而使被夹持的晶棒可调整至水平方向或竖直方向；所述第二驱动电机的固定端固定安装在调整台上，驱动端与转轴固定连接，以通过第二驱动电机驱动转轴旋转，从而调整吊运架组件的朝向。

5.如权利要求4所述的晶棒吊装运输装置，其特征在于，所述吊运架组件与所述转轴的第二端转动连接，且连接处位于吊运架组件长度方向的中轴线上；所述调整构件还包括两个结构相同的角度调整组件，两个角度调整组件对称设置在所述转轴的两侧，各角度调整组件均包括伸缩筒、伸缩杆及伸缩电机，所述伸缩筒可转动地安装在转轴上，所述伸缩杆的第一端可伸缩地安装在伸缩筒中，第二端与所述吊运架组件转动连接，以通过伸缩杆的伸缩调整吊运架组件相对于转轴的角度；所述伸缩电机的固定端安装在伸缩筒上，驱动端与伸缩杆的第一端传动连接，以驱动伸缩杆从伸缩筒中伸出或缩回。

6.如权利要求5所述的晶棒吊装运输装置，其特征在于，所述吊运架组件包括安装框架、第二调整杆及第三驱动电机，所述安...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈元寿，马玉怀，王黎光，魏瑶，田建斌，兰正东，殷效财，童小成，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：