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本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种晶棒吊装运输装置,该装置中设有机架构件、调整构件及吊运构件,调整构件的第一端高度可调地安装在机架构件上,第二端与吊运构件的固定端连接;吊运构件包括吊运架组件及至少一个夹取组件,吊运架组件的顶部安装在...该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种晶棒吊装运输装置,该装置中设有机架构件、调整构件及吊运构件,调整构件的第一端高度可调地安装在机架构件上,第二端与吊运构件的固定端连接;吊运构件包括吊运架组件及至少一个夹取组件,吊运架组件的顶部安装在...