一种分子泵在线调试系统及调试方法技术方案

本发明专利技术涉及真空技术领域，特别地涉及一种分子泵在线调试系统及方法，该分子泵在线调试系统，包括：振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及去重器，其经配置以根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。整个去重过程全部由控制器控制，可将去重质量以及去重位置精确，转子在运转中持续去重，无需反复启停人工增减配重，并且每次去重都是新做试重，每次去重均自动重新计算，确保精确。另外，转子的动平衡与研车工序可合二为一，进一步节约时间。

【技术实现步骤摘要】
一种分子泵在线调试系统及调试方法
本专利技术涉及真空
，特别地涉及一种分子泵在线调试系统调试方法。
技术介绍
分子泵是一种应用广泛的真空装置。分子泵包括泵体和安装在泵体内的转子。分子泵利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，然后被压缩和驱向排气口后被前级真空泵抽走。当分子泵装配完成后，由于加工或者装配的公差，转子存在一个不平衡量，因此，需要对转子进行动平衡测试，并对转子质量进行相应调配。分子泵转子的动平衡是分子泵能良好工作的关键。在现有技术中，在转子上通常预设一些动平衡孔。在泵体上设置振动传感器和转速传感器分别检测转子的振动频率和转速，利用动平衡仪确定出真正需要的校正质量的大小和安放位置。然后采用人工配做相应质量的螺钉，并将螺钉安装在预设的动平衡孔内，实现对转子质量的调整。但是，由于转子在高速运转过程中需要真空环境，采用上述人工修配调整螺钉的方式，需要多次才能调整好。调试过程非常繁琐，效率较低。
技术实现思路
针对现有技术中存在的技术问题，本专利技术提出了一种分子泵在线调试系统，包括：振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及去重器，其经配置以根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。如上所述的系统，其中所述分子泵的振动特征包括振动频率、振动方向、振动幅度等中的一者或多者。如上所述的系统，其中所述去重器是可移动的。如上所述的系统，其中所述控制器经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取所述分子泵的去重位置和去重质量。如上所述的系统，进一步包括转速传感器，其与所述控制器相连。如上所述的系统，其中所述去重器为激光器或电子枪。如上所述的系统，其中所述控制器包括：分析模块，其经配置以根据所述振动特征以及所述转速计算所述去重位置的去重质量；以及控制模块，其经配置以控制所述去重器向所述去重位置发射光束或电子的能量和时间。如上所述的系统，其中所述控制模块经配置以控制所述去重器向所述去重位置多次发射光束或电子。如上所述的系统，其中所述分析模块经配置以在所述去重器向所述去重位置发射光束或电子后重新计算去重质量。如上所述的系统，包括两个振动传感器，所述两个振动传感器分别用于位于所述转子的两端。如上所述的系统，进一步包括真空腔室，所述去重器位于所述真空腔室内。如上所述的系统，进一步地，所述去重器设置于所述转子的上方。本专利技术提出了一种分子泵在线调试方法，包括检测分子泵的振动特征；根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。如上所述的方法，进一步包括：根据所述振动特征以及所述转速计算所述去重位置的去重质量。如上所述的方法，进一步包括：所述去重器向所述去重位置多次发射光束或电子。如上所述的方法，进一步包括：在所述去重器向所述去重位置发射光束或电子后重新计算去重质量。本专利技术整个去重过程全部由控制器控制，可将去重质量以及去重位置精确，转子在运转中持续去重，无需反复启停人工增减配重，并且每次去重都是新做试重，每次去重均自动重新计算，确保精确。另外，转子的动平衡与研车工序可合二为一，进一步节约时间。附图说明下面，将结合附图对本专利技术的优选实施方式进行进一步详细的说明，其中：图1是根据本专利技术的一个实施例提供的分子泵调试组件的结构示意图；图2是根据本专利技术的一个实施例提供的控制器的示意图。标记说明：1-振动传感器；2-泵体；3-去重器；4-转速传感器；5-转子；6-控制器；61-分析模块；62-控制模块。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在以下的详细描述中，可以参看作为本申请一部分用来说明本申请的特定实施例的各个说明书附图。在附图中，相似的附图标记在不同图式中描述大体上类似的组件。本申请的各个特定实施例在以下进行了足够详细的描述，使得具备本领域相关知识和技术的普通技术人员能够实施本申请的技术方案。应当理解，还可以利用其它实施例或者对本申请的实施例进行结构、逻辑或者电性的改变。图1是根据本专利技术的一个实施例提供的分子泵调试系统的结构示意图。如图所示，分子泵在线调试系统，包括：振动传感器1、去重器3以及控制器6。分子泵2和去重器3位于真空腔室内。振动传感器1和去重器3均与控制器6连接。振动传感器1用于检测分子泵2的振动特征，包括但不限于：振动频率、振动方向、振动幅度等中的一者或多者。控制器6，其经配置以根据振动传感器1检测的分子泵2振动特征和转速获取去重重量。去重器3，其经配置以根据去重重量向分子泵2的去重位置发射光束或电子。去重器3向分子泵的转子5发射光束或电子以将转子5的物质去掉。去重器3的发射能量可以是预设的，通过控制发射时间能够控制去重的质量。或者，去重器3的发射时间可以是预设的，通过控制发射能量能够控制去重的质量。再或者，去重器3的发射能量和发射时间都是可控的。控制器6根据待去重的质量计算出去重器的发射能量和/或发射时间。在一些实施例中，去重可以分多次进行。每次去重后，控制器6重新计算去重位置和去重质量。去重器3可以为激光器或者电子枪。在一些实施例中，分子泵在线调试系统包括转速传感器4，其与控制器6相连，用于检测分子泵的转速。控制器6根据振动传感器1检测到的振动特征以及转速传感器4检测到的转速计算分子泵的转子5需要去重的位置和质量，并控制去重器3向分子泵2转子5的待去重位置发射预设能量的光束，以使将转子5调整为动平衡状态。在一些实施例中，控制器6依据动平衡原理并根据振动传感器1检测的分子泵2振动特征和转速获取所述分子泵2的去重位置和去重质量。转速传感器4与控制器6相连，转速传感器4为相位传感器，其能够检测转子5的相位。根据转子5的相位能够确定转子5位置。当转子5转动至去重器3下方时，控制器6控制去重器3向转子5的去重位置发射预设能量的光束或电子，即在转子5上打微孔。通过在转子5上打微孔，转子5该位置的部分质量被去除，实现动平衡的调整。在一些实施例中，转子5在运转中被持续去重，并且每次去重后都重新试重，去重位置和去重质量均自动重新计算，确保精确去重。在一些实施例中，分子泵的动平衡与研车工序可合二为一，能够进一步节约时间。在一些实施例中，控制器6包括分析模块61和控制模块62。分析模块61用于根据振动传感器1检测到的振动频率以及转速传感器4检测到的转速计算转子5的去重位置和去重质量。分析模块6本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分子泵在线调试系统，包括：/n振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；/n控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及/n去重器，其经配置以根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。/n

【技术特征摘要】
1.一种分子泵在线调试系统，包括：
振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；
控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及
去重器，其经配置以根据所述去重重量向所述分子泵的去重位置发射光束或电子。


2.根据权利要求1所述的分子泵在线调试系统，其中所述分子泵的振动特征包括振动频率、振动方向、振动幅度等中的一者或多者。


3.根据权利要求1所述的分子泵在线调试系统，其中所述去重器是可移动的。


4.根据权利要求1所述的分子泵在线调试系统，其中所述控制器经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取所述分子泵的去重位置和去重质量。


5.根据权利要求1所述的分子泵在线调试系统，进一步包括转速传感器，其与所述控制器相连。


6.根据权利要求1所述的分子泵在线调试系统，其中所述去重器为激光器或电子枪。


7.根据权利要求1所述的分子泵在线调试系统，其中所述控制器包括：
分析模块，其经配置以根据所述振动特征以及所述转速计算所述去重位置的去重质量；以及
控制模块，其经配置以控制所述去重器向所述去重位置发射光束或电子的能量和时间。


8.根据权利要求7所述的分子泵在线调试系统，其中所述控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：董欣，郁晋军，刘敏强，
申请(专利权)人：北京四海祥云流体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11