真空泵与真空泵的控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够将电装设备高效率地冷却的真空泵。具备泵主体（11）、配置于泵主体（11）的外侧的电装壳（31），电装壳（31）具有在内部形成有冷却媒介流路（38a）的冷却夹套（36）、具备回路零件（62）而能够进行基于冷却夹套（36）的冷却的电源回路部（33），在冷却夹套（36），电源回路部（33）被能够热移动地安装，冷却夹套（36）具备夹套主体（37）、用于在夹套主体（37）内使冷却水循环的冷却管（38），使冷却管（38）向电源回路部（33）侧部分地露出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空泵与真空泵的控制装置
本专利技术例如涉及涡轮分子泵等真空泵与真空泵的控制装置。
技术介绍
以往，已知后述的专利文献1所公开的那样的涡轮分子泵装置。专利文献1的涡轮分子泵装置中，如第0010段、图1、图2等所述那样地设置有冷却装置(13)。冷却装置(13)在泵主体(11)与电源装置(14)之间被在轴向上并列地夹装，主要将电源装置(14)内的马达驱动回路的电子零件冷却。并且，该冷却装置(13)具有在内部形成有冷却水通路的夹套主体(13a)和用于借助送水用的泵使冷却水在冷却水通路循环的冷却水入口(13b)及冷却水出口(13c)。专利文献1：国际公开第2011/111209号公报。但是，在涡轮分子泵等真空泵中，由于被连接的真空设备的周边空间的情况等，有需要进行小型化的情况。并且，也有需要进行马达驱动回路、控制回路等电装设备的小型化的情况，这样的情况下，电装设备的安装密度变高，电装设备的温度变得容易上升。此外，由于真空泵的高性能化，电装设备的安装密度也变高，电装设备的温度也变得容易上升。因此，即使在使用例如专利文献1所公开的那样的冷却装置的情况下，也需要尽量高效率地进行冷却。并且，由于高效率的冷却，能够延长电装设备的寿命。此外，为了提高冷却效果，也考虑取代专利文献1所示那样的水冷而进行例如使用冷却风扇的空冷。但是，由于具备冷却风扇，相应地真空泵的外形尺寸变大，小型化变得困难。此外，若使用冷却风扇，则产生的气流在洁净室内扬起灰尘，有变得难以保持清洁的环境的情况。进而，在使用冷却风扇的情况下，若为了排出扬起的灰尘而强化空调(空气调和器)的排气，则综合的能量消耗量相应地增加。由此，在涡轮分子泵等真空泵中，难以为了高效率的冷却而采用空冷，希望采用水冷。
技术实现思路
本专利技术是用于解决这样的问题而被作出的，其目的在于，提供能够将电装设备高效率地冷却的真空泵与真空泵的控制装置。为了实现上述目的的本专利技术是一种真空泵，其特征在于，具备泵主体、配置于前述泵主体的外侧的控制装置，前述控制装置具有冷却部和电装零件部，前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，能够经由前述铸模部向前述冷却部侧进行热移动。此外，为了实现上述目的，其他本专利技术是一种真空泵，其特征在于，在前述回路基板，形成贯通前述回路基板而供前述铸模部进入的贯通部，能够经由前述铸模部及前述贯通部向前述冷却部侧进行热移动。此外，为了实现上述目的，其他本专利技术是一种真空泵，其特征在于，前述冷却部在前述回路基板的、相对于安装有前述发热零件的一侧相反的一侧的位置，面向进入前述贯通部的前述铸模部。此外，为了实现上述目的，其他本专利技术是一种真空泵，其特征在于，前述冷却部使前述冷却媒介流路朝向前述电装零件部侧部分地露出。此外，为了实现上述目的，其他本专利技术是一种真空泵的控制装置，其特征在于，具有冷却部和电装零件部，前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，能够经由前述铸模部向前述冷却部侧进行热移动。专利技术效果根据上述专利技术，能够提供能够将电装设备高效率地冷却的真空泵和真空泵的控制装置。附图说明图1(a)是概略地表示本专利技术的一实施方式的涡轮分子泵的剖视图，(b)是将电装箱放大表示的剖视图，(c)是表示冷却夹套的铅垂部与冷却管的位置关系的说明图。图2(a)是概略地表示冷却夹套、电源回路部的立体图，(b)是概略地表示电源回路部的回路基板的主视图。具体实施方式以下，基于附图说明本专利技术的一实施方式的真空泵。图1(a)将作为真空泵的涡轮分子泵10纵剖来将一部分省略地概略地表示。该涡轮分子泵10例如与半导体制造装置、电子显微镜、质量分析装置等对象设备的真空腔(省略图示)连接。涡轮分子泵10一体地具备圆筒状的泵主体11、作为电装设备容纳部(控制装置)的箱状的电装壳31。它们中的泵主体11为，图中的上侧为与对象设备侧相连的吸气部12，下侧为与辅助泵等相连的排气部13。并且，涡轮分子泵10除了如图1(a)所示那样的铅垂方向的垂直姿势以外，也能够以倒立姿势、水平姿势甚至倾斜姿势使用。电装壳31被安装成在泵主体11的侧部即外周面沿径向突出。因此，本实施方式的涡轮分子泵10与例如前述的专利文献1所公开的类型的涡轮分子泵那样地将泵主体与电装设备(电装零件)沿轴向(气体的移送方向)并列地配置的情况相比，实现轴向的紧凑化。并且，本实施方式的涡轮分子泵10即使轴向的空间比较的狭窄也能够设置。泵主体11具备带台阶的圆筒状的主体罩14。本实施方式中，主体罩14的直径为350mm左右，高度为400mm左右。主体罩14内设置有排气机构部15与旋转驱动部16。它们中的排气机构部15为由涡轮分子泵机构部17与螺纹槽泵机构部18构成的复合型的排气机构部。涡轮分子泵机构部17与螺纹槽泵机构部18被配置成沿泵主体11的轴向连续，在图1(a)中，在图中的上侧配置有涡轮分子泵机构部17，在图中的下侧配置有螺纹槽泵机构部18。作为涡轮分子泵机构部17、螺纹槽泵机构部18的基本构造，能够采用一般的基本构造，但以下关于基本构造概略地说明。配置于图1(a)中的上侧的涡轮分子泵机构部17借助多个涡轮叶片进行气体的移送，具备具有既定的倾斜、曲面而放射状地形成的固定翼部19和旋转翼部20。这里，在涡轮分子泵机构部17，固定翼(定子翼)与旋转翼(转子翼)配置成遍及十几级地交替地排列，但为了避免附图变得烦杂，省略关于固定翼与旋转翼的附图标记的记载。此外，图1(a)中同样地为了避免附图变得烦杂，省略表示泵主体11的零件的截面的剖面线的记载。固定翼部19与主体罩14一体地设置，设置于旋转翼部20的旋转翼进入装备于固定翼部19的上下的固定翼之间。旋转翼部20与图1(a)中仅概略地表示上端部的轮廓的旋转轴(转子轴)21一体化。该旋转轴21通过下侧的螺纹槽泵机构部18与同样地仅概略地表示轮廓的前述的旋转驱动部16连结。螺纹槽泵机构部18具备转子圆筒部23与螺纹定子24，在转子圆筒部23与螺纹定子24之间形成有作为既定的间隙的螺纹槽部25。转子圆筒部23与旋转轴21连结，能够与旋转轴21一体地旋转。在螺纹槽泵机构部18的后级配置有用于与排气管道连接的排气口26，排气口26的内部与螺纹槽部25在空间上相连。旋转驱动部16是马达，虽省略图示，但具有形成于旋转轴21的外周的旋转件、配置成包围旋转件的固定件。用于使该旋转驱动部16工作的电力的供给由容纳于前述电装壳31的电源设备、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空泵，其特征在于，/n具备泵主体、配置于前述泵主体的外侧的控制装置，/n前述控制装置具有冷却部和电装零件部，/n前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，/n前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，/n在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，/n在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，/n能够向经由前述铸模部的前述冷却部侧进行热移动。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180216 JP 2018-0258541.一种真空泵，其特征在于，
具备泵主体、配置于前述泵主体的外侧的控制装置，
前述控制装置具有冷却部和电装零件部，
前述冷却部在内部形成有冷却媒介流路，
前述电装零件部具备发热零件，能够进行基于前述冷却部的冷却，
在前述冷却部，前述电装零件部被能够进行热移动地安装，
在前述电装零件部，设置有安装前述发热零件而固定于前述冷却部的回路基板、将前述回路基板及前述发热零件至少部分地覆盖的铸模部，
能够向经由前述铸模部的前述冷却部侧进行热移动。


2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
在前述回路基板，形成贯通前述回路基板而供前述铸模部进入的贯通部，
能够向经由前述铸模部及前述贯通部的前述冷却部侧进行热移动。...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彦斌，三枝健吾，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP