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本发明涉及真空技术领域，特别地涉及一种分子泵在线调试系统及方法，该分子泵在线调试系统，包括：振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及去重器，其经配置以根...
该专利属于北京四海祥云流体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京四海祥云流体科技有限公司授权不得商用。

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