本实用新型公开了一种分子泵用集成式控制电源箱，涉及分子泵及其控制箱技术领域，用于控制及驱动分子泵，分子泵的底部设有用于安装主轴控制电缆的电缆口，包括箱体，箱体内设有控制器、变频器、滤波器、刹车电阻，控制器通过变频器分别与滤波器、刹车电阻...

本实用新型公开了一种分子泵底盘，涉及真空泵技术领域，包括底盘主体，底盘主体的内部中心设有的电机座，底盘主体的内壁与电机座的外壁之间设为向上方开口的凹槽，电机座的中心设有竖直贯穿底盘主体的通孔，底盘主体的内部设有冷却水管，冷却水管自底盘主...

本发明涉及真空技术领域，特别地涉及一种分子泵在线调试系统及方法，该分子泵在线调试系统，包括：振动传感器，其经配置以检测分子泵的振动特征；控制器，其经配置以根据所述振动传感器检测的所述分子泵振动特征和转速获取去重重量；以及去重器，其经配置...

本实用新型公开了一种分子泵铸造底盘，涉及真空泵技术领域，包括底盘主体，底盘主体的外壁自上而下形成第一台肩、第二台肩，底盘主体的内部中心设有电机座，底盘主体的内壁与电机座的外壁之间设为凹槽，电机座的中心设有通孔，通孔内部的顶端设有第一轴承...

本实用新型涉及一种分子泵的油路系统，所述主轴的中心吸油通道，所述主轴的底部与油池相连，所述主轴的顶部外圈设有轴承，所述轴承的上方设有轴承锁母，所述轴承锁母的中心设有一圈甩油孔，所述主轴上设有与甩油孔相对应的出油孔，所述轴承锁母的外侧依次...

本实用新型涉及一种分子泵底盘，包括底座、分水环、隔水套和主轴座，所述底座中心设有通孔，所述底座上设有进水口和出水口，所述进水口与竖直设置在底座内部的上水槽连通，所述隔水套设置在底座上方，所述隔水套的中心竖直设有安装孔，所述隔水套的外侧上...

本发明涉及一种分子泵及其牵引级；其中分子泵包括：底座；泵体，其设置在所述底座上，所述泵体与所述底座形成一个腔体；动力装置，其设置在所述底座和泵体形成的腔体内；转子，其连接至所述动力装置，所述转子包括涡轮级转子和第一牵引级转子，所述涡轮级...