激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法技术

本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。其中，激光等离子体极紫外光源，真空靶室、光学透镜模组、液滴靶发生器和用于收集极紫外光的收集镜；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；液滴靶发生器用于向真空靶室提供液滴；液滴在真空靶室的移动线路经过光学焦点，以使液滴靶发生器产生的液滴与激光在光学焦点处产生极紫外光；收集镜的收集方向与激光入射方向垂直，且不与液滴的移动方向平行。光学透镜模组的焦点处于真空环境，避免了对其它设备的损坏。同时，本申请的收集器的收集方向与激光入射方向垂直，收集镜的中间不需要开设孔，从而可以收集到更多的光，提高收集效率，进一步的提高了光源的转换效率。

【技术实现步骤摘要】
激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法
本申请涉及激光
，特别是涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。
技术介绍
光刻技术作为半导体工业中最为关键的技术，它的发展带来了半导体器件性能的飞速提高，在半导体工业半个多世纪的进化历程中为整个产业的发展提供了强有力的技术支撑。但是，随着半导体芯片集成度越来越高，极大规模集成电路的进一步细微化已经受到光刻技术中光刻分辨率的限制。目前，采用波长为13.5nm的极紫外辐射为曝光光源的极紫外光刻技术已被认定将成为突破7nm节点半导体工业技术的重要手段。在实现过程中，专利技术人发现传统技术中至少存在如下问题：传统设备具有的光源转换效率低的问题。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种光源转换效率高的激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。为了实现上述目的，一方面，本专利技术实施例提供了一种光源转换效率高的激光等离子体极紫外光源，包括：真空靶室；光学透镜模组；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；液滴靶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光等离子体极紫外光源，其特征在于，包括：/n真空靶室；/n光学透镜模组；激光通过所述光学透镜模组形成的光学焦点位于所述真空靶室的内部；/n液滴靶发生器；所述液滴靶发生器用于向所述真空靶室提供液滴；所述液滴在所述真空靶室的移动线路经过所述光学焦点，以使所述液滴靶发生器产生的液滴与所述激光在所述光学焦点处产生极紫外光；/n用于收集所述极紫外光的收集镜；所述收集镜的收集方向与所述激光入射方向垂直，且不与所述液滴的移动方向平行。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光等离子体极紫外光源，其特征在于，包括：
真空靶室；
光学透镜模组；激光通过所述光学透镜模组形成的光学焦点位于所述真空靶室的内部；
液滴靶发生器；所述液滴靶发生器用于向所述真空靶室提供液滴；所述液滴在所述真空靶室的移动线路经过所述光学焦点，以使所述液滴靶发生器产生的液滴与所述激光在所述光学焦点处产生极紫外光；
用于收集所述极紫外光的收集镜；所述收集镜的收集方向与所述激光入射方向垂直，且不与所述液滴的移动方向平行。


2.根据权利要求1所述的激光等离子体极紫外光源，其特征在于，所述光学透镜模组包括预设数量的透镜组；各所述透镜组包括第一透镜和第二透镜；
所述第一透镜和所述第二透镜形成谐振腔；所述第一透镜的焦点落入所述谐振腔的范围内。


3.根据权利要求1所述的激光等离子体极紫外光源，其特征在于，所述光学透镜模组包括预设数量的光学透镜；
各所述光学透镜的焦点的位置均与所述光学焦点的位置重合。


4.根据权利要求1所述的激光等离子体极紫外光源，其特征在于，还包括泵浦源；
所述泵浦源用于产生所述激光。


5.根据权利要求1所述的激光等离子体极紫外光源，其特征在于，还包括增益介质；
所述增益介质设于所述光学透镜模组的靠近所述光学焦点的一侧。


6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王新兵，左都罗，马修泉，陆培祥，
申请(专利权)人：广东省智能机器人研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44