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本申请涉及一种激光等离子体极紫外光源和极紫外光产生方法。其中，激光等离子体极紫外光源，真空靶室、光学透镜模组、液滴靶发生器和用于收集极紫外光的收集镜；激光通过光学透镜模组形成的光学焦点位于真空靶室的内部；液滴靶发生器用于向真空靶室提供液滴；...
该专利属于广东省智能机器人研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东省智能机器人研究院授权不得商用。

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