一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚制造技术

技术编号:26496421 阅读:38 留言:0更新日期:2020-11-27 15:22
本发明专利技术公开了一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚,包括底座,所述底座顶部的中间位置处设置有单晶炉体,所述单晶炉体的顶部设置有单晶炉盖,所述单晶炉盖底部的一侧设置有安装仓,所述安装仓内部的底部设置有伺服电机,所述伺服电机的输出端设置有齿轮B,所述单晶炉体内部的中间位置处设置有坩埚,所述坩埚底部的中间位置或促设置有坩埚轴,且坩埚轴延伸至单晶炉体的外部并且贯穿底座的内部;本发明专利技术装置通过插杆、插孔、套筒A、安装块B、单晶炉盖、滑轨、铰接杆、插孔和坩埚的相互配合,可方便操作人员快速的对物料进行投放,同时还方便操作人员快速拆除,从而增加该装置的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚
本专利技术涉及石墨坩埚
,具体为一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚。
技术介绍
随着世界光伏行业的发展,对硅单晶的质量要求越来越高,直径也越来越大,硅单晶已经成为通用高品质光伏电池的材料基础,有不可替代的作用,就硅晶体生长和制备而言,有天然硅晶体和人工硅晶体,天然硅晶体的数量很少,一般硅单晶都是人工制造的,为了制备性能良好的硅单晶,在生产实践中,通过不断地研究、实践和探索,不断完善了硅单晶生长技术;现有装置存在以下问题:1、现有的装置在对其物料进行投放时,还需操作人员手动的进行多组的螺栓拧动才能打开投放物料,从而增加该装置的繁琐性;2、现有的装置其物料生长的长度大多都是固定的,操作人员想要不同长度物料时还需放置在不同的装置里进行工作,从而增加该装置的不便性;3、现有的装置其内部防撞效果较为不明显,对于较大的碰撞很有可能导致装置表面出现凹坑,从而影响物料的发挥。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚,以解决上述背景技术中提出现有装置存在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部的中间位置处设置有单晶炉体(3),所述单晶炉体(3)的顶部设置有单晶炉盖(19),所述单晶炉盖(19)底部的一侧设置有安装仓(17),所述安装仓(17)内部的底部设置有伺服电机(18),所述伺服电机(18)的输出端设置有齿轮B(16),所述单晶炉体(3)内部的中间位置处设置有坩埚(5),所述坩埚(5)底部的中间位置或促设置有坩埚轴(2),且坩埚轴(2)延伸至单晶炉体(3)的外部并且贯穿底座(1)的内部,所述单晶炉体(3)内部顶部的两侧对称设置有安装块A(9),两组所述安装块A(9)的正下方共同设置有导流筒(6),且...

【技术特征摘要】
1.一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部的中间位置处设置有单晶炉体(3),所述单晶炉体(3)的顶部设置有单晶炉盖(19),所述单晶炉盖(19)底部的一侧设置有安装仓(17),所述安装仓(17)内部的底部设置有伺服电机(18),所述伺服电机(18)的输出端设置有齿轮B(16),所述单晶炉体(3)内部的中间位置处设置有坩埚(5),所述坩埚(5)底部的中间位置或促设置有坩埚轴(2),且坩埚轴(2)延伸至单晶炉体(3)的外部并且贯穿底座(1)的内部,所述单晶炉体(3)内部顶部的两侧对称设置有安装块A(9),两组所述安装块A(9)的正下方共同设置有导流筒(6),且导流筒(6)延伸至坩埚(5)的内部,两组所述安装块A(9)相互靠近的一侧皆铰接设置有铰接杆(10),两组所述铰接杆(10)相互靠近的一侧共同铰接有单晶棒B(24),且单晶棒B(24)贯穿导流筒(6)延伸至坩埚(5)的内部,所述单晶棒B(24)的顶部延伸至单晶炉盖(19)的内部并套设有单晶棒A(13),所述单晶棒A(13)的两侧对称设置有滑轨(11),两组所述滑轨(11)的内部皆设置有与其相互配合的滑块(12),且滑块(12)延伸至滑轨(11)的外侧,两组所述滑块(12)相互远离的一侧共同套设有齿轮A(14),所述齿轮A(14)的外侧套设有链条(15),且链条(15)与齿轮B(16)相互啮合,所述单晶炉盖(19)两侧的底部对称设置有安装块B(20),所述单晶炉体(3)两侧的顶部对称设置有安装板(23),两组所述安装板(23)的顶部皆设置有套筒B(22),两组所述套筒B(22)的内部皆设置有与其相互配合的套筒A(8),且套筒A(8)与安装块B(20)相互连接,...

【专利技术属性】
技术研发人员:武建军张培林柴利春张作文王志辉
申请(专利权)人:大同新成新材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:山西;14

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