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本发明公开了一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚,包括底座,所述底座顶部的中间位置处设置有单晶炉体,所述单晶炉体的顶部设置有单晶炉盖,所述单晶炉盖底部的一侧设置有安装仓,所述安装仓内部的底部设置有伺服电机,所述伺服电机的输出端设置有齿轮B,所述单晶...该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚,包括底座,所述底座顶部的中间位置处设置有单晶炉体,所述单晶炉体的顶部设置有单晶炉盖,所述单晶炉盖底部的一侧设置有安装仓,所述安装仓内部的底部设置有伺服电机,所述伺服电机的输出端设置有齿轮B,所述单晶...