工件游星轮及工件游星轮的制造方法技术

本发明专利技术提供一种工件游星轮，即使在紧贴于游星轮基板的树脂插入部发生了温度变化的情况下，也不易在游星轮基板产生变形。一种工件游星轮(10)，其沿着形成于游星轮基板(1)的工件保持孔(2)的内周面设置有树脂插入部(3)。并且，在工件保持孔沿周向隔开间隔地形成在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部(21、……)，并且在凹部紧贴地形成有树脂插入部，凹部的高度(H)设定为0.5mm以上且小于2.9mm。在此，优选为，凹部的斜边(211)与工件保持孔的周向在凹部的外侧所成的角(θ)为大于60°且小于90°。

【技术实现步骤摘要】
工件游星轮及工件游星轮的制造方法
本专利技术涉及在通过研磨装置对硅晶片、玻璃、陶瓷、水晶等薄板状的工件进行研磨加工时，用于工件的保持的工件游星轮(carrier)及工件游星轮的制造方法。
技术介绍
已知在通过研磨装置对硅晶片等工件的双面或单面进行研磨加工时，使工件保持于具有工件保持孔的工件游星轮的技术(参照专利文献1-3等)。由于成为工件游星轮的主体的游星轮基板由SK钢、不锈钢这样的硬质的金属材料形成，因此若使工件直接保持于在游星轮基板钻设的工件保持孔，则在研磨加工过程中工件会与工件保持孔的内周面接触，可能在工件产生裂纹、缺口等损伤。因此，如专利文献1-3所公开的那样，沿着工件保持孔的内周面安装合成树脂制的软质的插入件，进行防止研磨加工过程中的工件的损伤的处理。另一方面，软质的树脂插入件比硬质的游星轮基板更容易发生由研磨加工引起的磨损、变形，因此在专利文献1中，通过缩窄从游星轮基板伸出的树脂插入件的宽度来减少向工件保持孔侧露出的面积，从而减少树脂插入件的磨损。另外，在专利文献2中，记载了在使树脂插入件的燕尾榫装卸自如地嵌合于游星轮基板的燕尾槽的结构中，为了调整嵌合的强度，而在燕尾槽与燕尾榫之间设置间隙的技术。另外，在专利文献3中，作为沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置树脂插入件的方法公开了具有嵌入预先成型的树脂插入件的方式和基于注塑成型的方式。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-179375号公报专利文献2：日本特开2003-340711号公报专利文献3：日本特开2018-144221号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，在通过注塑成型设置树脂插入件的情况下，流入到燕尾槽中的高温的合成树脂材料之后在冷却凝固时会朝向工件保持孔的中心收缩，所述燕尾槽沿着游星轮基板的工件保持孔的内周面设置。此时，由于与填充到燕尾槽中的合成树脂材料的卡挂，游星轮基板的母材被拉伸，有可能在游星轮基板产生翘曲、应变。即，若树脂插入件的收缩量因温度变化而大于游星轮基板的收缩量，则游星轮基板存在变形的可能性。因此，本专利技术的目的在于提供工件游星轮及工件游星轮的制造方法，即使在紧贴于游星轮基板的树脂插入部发生了温度变化的情况下，也不易在游星轮基板产生变形。用于解决课题的技术方案为了达到上述目的，本专利技术的工件游星轮是沿着形成于游星轮基板的工件保持孔的内周面设有树脂插入部的工件游星轮，其特征在于，在所述工件保持孔沿周向隔开间隔地形成有在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部，并且在所述凹部紧贴地形成有所述树脂插入部，所述凹部的高度为0.5mm以上且小于2.9mm。在此，优选为，所述凹部的斜边与所述工件保持孔的周向在所述凹部的外侧所成的角大于60°且小于90°。另外，可构成为在所述工件保持孔沿周向交替地连续形成有正倾斜面和负倾斜面，所述正倾斜面和负倾斜面相对于表背方向的倾斜是相反的。而且，工件游星轮的制造方法的专利技术是上述任意的工件游星轮的制造方法，其特征在于，包括：为了在所述游星轮基板钻设所述工件保持孔而进行切割加工的工序；以及相对于所述工件保持孔通过注塑成型而设置树脂插入部的工序。专利技术效果如上所述构成的本专利技术的工件游星轮在凹部紧贴地形成有树脂插入部，所述凹部沿游星轮基板的工件保持孔的周向隔开间隔地形成，且在俯视时呈梯形形状。并且，该凹部的高度设定为0.5mm以上且小于2.9mm。总而言之，由于将凹部的高度设定为低于以往的燕尾槽的高度，因此即使在因注塑成型等而在紧贴于游星轮基板的树脂插入部发生了温度变化的情况下，也能够抑制填充到凹部中的合成树脂材料的收缩量，从而能够构成为不易在游星轮基板发生变形。另外，通过将凹部的斜边与工件保持孔的周向所成的角设为大于60°且小于90°，能够确保凹部中的卡挂，并且抑制在游星轮基板的母材产生的拉伸力。而且，通过沿工件保持孔的周向交替地连续形成相对于表背方向的倾斜为相反的正倾斜面和负倾斜面，从而相对于游星轮基板的表背中的任一方向，均能够防止树脂插入部从工件保持孔脱落的情况。并且，在工件游星轮的制造方法的专利技术中，通过利用注塑成型设置树脂插入部，从而能够容易地制造出游星轮基板与树脂插入部的一体性高的工件游星轮。附图说明图1是以与以往进行比较的方式对本实施方式的工件游星轮的结构进行说明的放大俯视图。图2是对工件游星轮的概略结构进行说明的俯视图。图3是为了对表加工和背加工进行说明而将工件游星轮的工件保持孔的内周面附近放大进行说明的俯视图。图4是在工件保持孔的内周面设置有树脂插入部的状态下对正倾斜面及负倾斜面进行说明的图，图4(a)是从图3的A-A箭头方向观察的剖视图，图4(b)是从图3的B-B箭头方向观察的剖视图。图5是对本实施方式的工件游星轮的制造方法的工序进行说明的流程图。图6是用于对注塑成型的工序进行说明的示意图。图7是表示在注塑成型后树脂插入部收缩时产生的力的说明图。具体实施方式下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1、2是对本实施方式的工件游星轮10的结构进行说明的图，图2表示整体的概略结构，图1为了与以往比较进行说明而放大表示了工件保持孔2的内周面附近。工件游星轮10安装于平面研磨装置而使用，所述平面研磨装置对硅晶片、玻璃等工件的双面或单面进行研磨加工。例如，对工件的双面进行研磨加工的平面研磨装置具备：作为定盘的上定盘及下定盘；旋转自如地配置于该上定盘及下定盘的中心部的太阳齿轮；以及配置于上定盘及下定盘的外周侧的内齿轮。并且，如图2所示的工件游星轮10配置于平面研磨装置的上定盘与下定盘之间。工件游星轮10例如由金属制的游星轮基板1形成圆板状的主体。在该游星轮基板1钻设例如圆形的工件保持孔2、……和研磨剂供给孔12、……。并且，沿着工件保持孔2的内周面设置树脂插入部3。在该工件游星轮10，在成为外缘的外形部11设置有与太阳齿轮及内齿轮啮合的齿部(省略图示)，工件游星轮10通过太阳齿轮及内齿轮的旋转而进行自转及公转。并且，通过工件游星轮10的自转及公转，配置在工件游星轮10的工件保持孔2内的工件的双面被研磨。游星轮基板1例如从金属板切出为圆板状。作为金属板，可使用不锈钢(SUS)、高碳铬轴承钢、碳素工具钢(SK钢)、高速工具钢、合金工具钢、高强度钢、钛等。另外，也可利用聚酰胺酰亚胺(PAI)等合成树脂材料来成型游星轮基板1。另一方面，树脂插入部3利用合成树脂材料而成型。合成树脂材料可使用聚酰胺树脂、聚酯树脂、聚氯乙烯树脂、聚缩醛树脂、聚碳酸酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚乙烯醇缩甲醛树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚酰亚胺树脂等。聚酰胺树脂可使用聚酰胺6、聚酰胺66、聚酰胺11、聚酰胺12、聚酰胺610等脂肪族聚酰胺树脂、及聚酰胺MXD6等芳香族聚酰胺树脂。...

【技术保护点】
1.一种工件游星轮，其特征在于，/n沿着形成于游星轮基板的工件保持孔的内周面设置有树脂插入部，/n在所述工件保持孔沿周向隔开间隔地形成有在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部，并且在所述凹部紧贴地形成有所述树脂插入部，/n所述凹部的高度为0.5mm以上且小于2.9mm。/n

【技术特征摘要】
20190527 JP 2019-098599;20191129 JP 2019-2170901.一种工件游星轮，其特征在于，
沿着形成于游星轮基板的工件保持孔的内周面设置有树脂插入部，
在所述工件保持孔沿周向隔开间隔地形成有在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部，并且在所述凹部紧贴地形成有所述树脂插入部，
所述凹部的高度为0.5mm以上且小于2.9mm。


2.根据权利要求1所述的工件游星轮，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥伸一，山谷昭彦，
申请(专利权)人：创技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP