工件游星轮及工件游星轮的制造方法技术

本发明专利技术提供一种工件游星轮，即使在紧贴于游星轮基板的树脂插入部发生了温度变化的情况下，也不易在游星轮基板产生变形。一种工件游星轮(10)，其沿着形成于游星轮基板(1)的工件保持孔(2)的内周面设置有树脂插入部(3)。并且，在工件保持孔沿周向隔开间隔地形成在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部(21、……)，并且在凹部紧贴地形成有树脂插入部，凹部的高度(H)设定为0.5mm以上且小于2.9mm。在此，优选为，凹部的斜边(211)与工件保持孔的周向在凹部的外侧所成的角(θ)为大于60°且小于90°。

【技术实现步骤摘要】
工件游星轮及工件游星轮的制造方法
本专利技术涉及在通过研磨装置对硅晶片、玻璃、陶瓷、水晶等薄板状的工件进行研磨加工时，用于工件的保持的工件游星轮(carrier)及工件游星轮的制造方法。
技术介绍
已知在通过研磨装置对硅晶片等工件的双面或单面进行研磨加工时，使工件保持于具有工件保持孔的工件游星轮的技术(参照专利文献1-3等)。由于成为工件游星轮的主体的游星轮基板由SK钢、不锈钢这样的硬质的金属材料形成，因此若使工件直接保持于在游星轮基板钻设的工件保持孔，则在研磨加工过程中工件会与工件保持孔的内周面接触，可能在工件产生裂纹、缺口等损伤。因此，如专利文献1-3所公开的那样，沿着工件保持孔的内周面安装合成树脂制的软质的插入件，进行防止研磨加工过程中的工件的损伤的处理。另一方面，软质的树脂插入件比硬质的游星轮基板更容易发生由研磨加工引起的磨损、变形，因此在专利文献1中，通过缩窄从游星轮基板伸出的树脂插入件的宽度来减少向工件保持孔侧露出的面积，从而减少树脂插入件的磨损。另外，在专利文献2中，记载了在使树脂插入件的燕尾榫装卸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件游星轮，其特征在于，/n沿着形成于游星轮基板的工件保持孔的内周面设置有树脂插入部，/n在所述工件保持孔沿周向隔开间隔地形成有在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部，并且在所述凹部紧贴地形成有所述树脂插入部，/n所述凹部的高度为0.5mm以上且小于2.9mm。/n

【技术特征摘要】
20190527 JP 2019-098599;20191129 JP 2019-2170901.一种工件游星轮，其特征在于，
沿着形成于游星轮基板的工件保持孔的内周面设置有树脂插入部，
在所述工件保持孔沿周向隔开间隔地形成有在俯视时呈开放侧窄的梯形形状的凹部，并且在所述凹部紧贴地形成有所述树脂插入部，
所述凹部的高度为0.5mm以上且小于2.9mm。


2.根据权利要求1所述的工件游星轮，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥伸一，山谷昭彦，
申请(专利权)人：创技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP