双面研磨机用修整装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种双面研磨机用修整装置,其能够降低对按压修整构件的活塞杆的横向负载的作用,该修整装置(1)构成为粘贴在下定盘(11)处的研磨垫(11a)及粘贴在上定盘(12)处的研磨垫(12a)与修整构件(33)相对于彼此移动而修整研磨垫(11a,12a),并具备:悬臂构件(2),其可进退地进入在下定盘(11)和上定盘(12)之间；支撑构件(31),其固定在悬臂构件(2)的前端(2b)；动力缸(32),其设置在支撑构件(31),并通过活塞杆(32a)朝向研磨垫(11a,12a)按压修整构件(33)；减负载单元(34),其插装在修整构件(33)和动力缸(32)之间,并降低朝向活塞杆(32a)的横向负载的作用。

【技术实现步骤摘要】
双面研磨机用修整装置
本专利技术涉及一种双面研磨机用的修整装置,其对安装在双面研磨机定盘处的研磨垫进行修整,该双面研磨机对工件的双面进行研磨。
技术介绍
以往,已知有一种双面研磨机用修整装置(以下简称“修整装置”),其对分别安装于下定盘及上定盘的研磨垫进行修整,该研磨垫对硅晶片等的工件的双面进行研磨。在该已知的修整装置中,将设置在悬臂构件的前端的修整头伸入在下定盘与上定盘的之间,并将设置在修整头的修整构件通过动力缸按压而压靠在研磨垫上。而且,下定盘和上定盘以互相相反的方向旋转。据此,研磨垫和修整构件相对于彼此移动(相对移动)而修整研磨垫(例如,参照专利文献1)。(现有技术文献)(专利文献)专利文献1:日本特开2006-272498号公报
技术实现思路
(专利技术所要解决的问题)可是,以往的修整装置中,按压修整构件的动力缸的活塞杆处固定修整构件。因此,研磨垫和修整构件通过相对移动而作用在水平方向的横向负载作用于修整构件时,该横向负载也作用于活塞杆。因此,产生了动力缸的耐久性降低的问题。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双面研磨机用修整装置,其特征在于，在以旋转轴为中心能够旋转的下定盘和以所述旋转轴为中心能够旋转的上定盘之间伸入修整构件,将所述修整构件按压于粘贴在所述下定盘处的研磨垫或者粘贴在所述上定盘处的研磨垫的至少一个上,通过所述研磨垫与所述修整构件的相对移动来实施所述研磨垫的修整,所述修整装置具有:/n悬臂构件,其可进退地进入所述下定盘与所述上定盘之间；/n支撑构件,其固定在所述悬臂构件的前端；/n动力缸,其设置在所述支撑构件,并通过活塞杆朝向所述研磨垫按压所述修整构件；/n减负载单元,其插装在所述修整构件和所述动力缸之间,并降低朝向所述活塞杆的横向负载的作用。/n

【技术特征摘要】
20190201 JP 2019-0167121.一种双面研磨机用修整装置,其特征在于，在以旋转轴为中心能够旋转的下定盘和以所述旋转轴为中心能够旋转的上定盘之间伸入修整构件,将所述修整构件按压于粘贴在所述下定盘处的研磨垫或者粘贴在所述上定盘处的研磨垫的至少一个上,通过所述研磨垫与所述修整构件的相对移动来实施所述研磨垫的修整,所述修整装置具有:
悬臂构件,其可进退地进入所述下定盘与所述上定盘之间；
支撑构件,其固定在所述悬臂构件的前端；
动力缸,其设置在所述支撑构件,并通过活塞杆朝向所述研磨垫按压所述修整构件；
减负载单元,其插装在所述修整构件和所述动力缸之间,并降低朝向所述活塞杆的横向负载的作用。


2.根据权利要求1所述的双面研磨机用修整装置,其特征在于,
所述减负载单元具有:
气缸板,其在与所述研磨垫相对的表面安装所述修整构件且固定在所述活塞杆；
引导轴,其包括第一端部和第二端部，所述第一端部固定在所述气缸板,所述第二端部穿插于形成在所述支撑构件处的引导孔,或者，所述第一端部穿插于形成在所述气缸板处的引导孔,并且所述第二端部固定于所述支撑构件。


3.根据权利要求2所述的双面研磨機用修整装置,其特征在于,
所述修整构...

【专利技术属性】
技术研发人员：大谷畅之，小田桐茂，加藤刚敏，井上裕介，
申请(专利权)人：创技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP