一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，其结构包括机体、防尘罩、支撑腿、控制开关、显示屏和电源线，通过在防尘罩内部下端左右水平相对设置了辅助顶出装置，通过控制开关启动驱动机构，驱动机构带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，第二活动块带动推杆进行活动，推杆带动承载盘进行活动，达到辅助顶出承载盘的效果，通过在第一活动块内中部设置了驱动机构，通过控制开关启动第二电机，第二电机带动第二转轴进行转动，第二转轴带动小齿轮进行转动，小齿轮带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，达到驱动第二活动块的效果，本装置使用方便操作简单，有效的提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置
本专利技术涉及晶圆表面涂布
，具体涉及一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置。
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，在晶圆加工过程中需要用到用于晶圆表面涂布的旋涂装置。用于晶圆表面涂布的旋涂装置一般都是将晶圆放置在承载盘上，通过控制开关启动第一伸缩杆和第二伸缩杆对涂抹头进行调节，通过控制开关启动涂抹头，使涂抹头通过导管从储料筒内吸取涂料进行涂抹。但是传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于承载盘顶出效果较差，在使用过程中一般都是通过人工将承载盘取出，即浪费时间又浪费人力。同时传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于第二活动块驱动效果较差，导致使用不方便。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了克服现有技术不足，现提出一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，解决了传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于承载盘顶出效果较差，在使用过程中一般都是通过人工将承载盘取出，即浪费时间又浪费人力，同时传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于第二活动块驱动效果较差，导致使用不方便的问题。(二)技术方案本专利技术通过如下技术方案实现：本专利技术提出了一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，包括机体，承载盘，用于对晶圆进行放置；辅助顶出装置，用于对承载盘进行辅助顶出；支撑腿，用于对机体进行固定支撑；活动门，用于对机体进行打开或关闭；把手，用于对活动门进行驱动；涂抹头，用于对晶圆表面进行涂布；所述支撑腿呈圆柱体状，并且支撑腿共设置有四个；所述把手长度设置为八厘米，并且把手外表面设置有一层防滑纹路。进一步的，所述机体顶端中部设置有防尘罩，所述机体底部四端固定有支撑腿，所述机体前端面中部设置有控制开关，所述机体前端面上端设置有显示屏，并且显示屏与控制开关电连接，所述机体背面右端设置有电源线，并且电源线与控制开关电连接。所述机体右端中部设置有活动门，所述活动门右端固定有把手，所述防尘罩内部设置有承载盘，所述机体顶部右后端固定有第一伸缩杆，并且第一伸缩杆与控制开关电连接，所述第一伸缩杆前端面上端设置有第二伸缩杆，并且第二伸缩杆与控制开关电连接。所述第二伸缩杆底部前端设置有涂抹头，所述涂抹头右端设置有导管，所述机体内部右端安装有储料筒，并且导管与储料筒呈贯通结构，所述机体内中部安装有第一电机，并且第一电机与控制开关电连接，所述第一电机顶部设置有转盘，并且转盘与第一电机输出端转动连接，所述转盘内部等距嵌入有卡槽，所述承载盘底部等距固定有定位杆，并且定位杆与卡槽内侧面相插接，所述防尘罩内部下端左右水平相对设置有辅助顶出装置。进一步的，所述辅助顶出装置包括第一活动块、驱动机构、第一连接件、导向杆、第二连接件、第二活动块、大齿轮、第一转轴和推杆，所述第一活动块内中部设置有驱动机构，所述第一活动块左右水平相对固定有第一连接件，所述导向杆贯穿于第一连接件中部，并且第一连接件与导向杆外表面下端滑动连接，所述第二连接件与导向杆外表面上端活动连接，所述第二活动块与第二连接件右端固定连接，所述大齿轮与第二活动块内中部转动连接，所述第一转轴贯穿于第二活动块中部，并且第一转轴贯穿于大齿轮右下端，所述推杆左右水平相对固定于第二活动块顶部，所述第一活动块与防尘罩内部左下端固定连接。进一步的，所述驱动机构包括第二电机、第二转轴和小齿轮，所述第二电机右端设置有第二转轴，并且第二转轴与第二电机输出端转动连接，所述第二转轴贯穿于小齿轮下端，所述小齿轮与大齿轮外表面相互啮合，所述第二电机安装于第一活动块左端，所述第二转轴贯穿于第一活动块中部。进一步的，所述导向杆呈圆柱体状，并且导向杆外表面设置为光滑平面。进一步的，所述推杆长度设置为20厘米，并且推杆外表面粘接有一层防水防氧化层。进一步的，所述第二转轴中心和第二电机输出端处于同一水平方向，并且第二电机带动第二转轴转动角度为360°。进一步的，所述小齿轮呈圆形状，并且小齿轮直径设置为8厘米。进一步的，所述推杆为碳钢材质。进一步的，所述导管为软管材质。(三)有益效果本专利技术相对于现有技术，具有以下有益效果：1、为解决传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于承载盘顶出效果较差的问题，通过在防尘罩内部下端左右水平相对设置了辅助顶出装置，通过控制开关启动驱动机构，驱动机构带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，第二活动块通过第二连接件在导向杆外表面进行滑动，第二活动块带动推杆进行活动，推杆带动承载盘进行活动，达到辅助顶出承载盘的效果。2、为解决传统用于晶圆表面涂布的旋涂装置对于第二活动块驱动效果较差的问题，通过在第一活动块内中部设置了驱动机构，通过控制开关启动第二电机，第二电机带动第二转轴进行转动，第二转轴带动小齿轮进行转动，小齿轮与大齿轮外表面相互啮合，小齿轮带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，达到驱动第二活动块的效果。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的正面剖视结构示意图；图3为本专利技术的辅助顶出装置结构示意图；图4为本专利技术的辅助顶出装置正视结构示意图；图5为本专利技术的驱动机构正视结构示意图。图中：机体-1、防尘罩-2、支撑腿-3、控制开关-4、显示屏-5、电源线-6、活动门-7、把手-8、承载盘-9、第一伸缩杆-10、第二伸缩杆-11、涂抹头-12、导管-13、储料筒-14、第一电机-15、转盘-16、卡槽-17、定位杆-18、辅助顶出装置-19、第一活动块-191、驱动机构-192、第一连接件-193、导向杆-194、第二连接件-195、第二活动块-196、大齿轮-197、第一转轴-198、推杆-199、第二电机-1921、第二转轴-1922、小齿轮-1923。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本专利技术提供一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置：包括机体1，机体1呈现一个机台结构，本实施例中，呈现一个侧面为五边形(梯形与矩形组成的五边形)，顶面和底面为矩形的结构；承载盘9，用于对晶圆进行放置；承载盘9设置在机体1顶面；辅助顶出装置19，用于对承载盘9进行辅助顶出；支撑腿3，用于对机体1进行固定支撑；活动门7，用于对机体1进行打开或关闭；把手8，用于对活动门7进行驱动；涂抹头12，用于对晶圆表面进行涂布；其中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，包括机体(1)，其特征在于，还包括：/n承载盘(9)，用于对晶圆进行放置；/n辅助顶出装置(19)，用于对所述承载盘(9)进行辅助顶出；/n支撑腿(3)，用于对所述机体(1)进行固定支撑；/n活动门(7)，用于对所述机体(1)进行打开或关闭；/n把手(8)，用于对所述活动门(7)进行驱动；/n涂抹头(12)，用于对晶圆表面进行涂布；/n其中，所述支撑腿(3)呈圆柱体状，并且所述支撑腿(3)共设置有四个；/n其中，所述把手(8)外表面设置有一层防滑纹路。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，包括机体(1)，其特征在于，还包括：
承载盘(9)，用于对晶圆进行放置；
辅助顶出装置(19)，用于对所述承载盘(9)进行辅助顶出；
支撑腿(3)，用于对所述机体(1)进行固定支撑；
活动门(7)，用于对所述机体(1)进行打开或关闭；
把手(8)，用于对所述活动门(7)进行驱动；
涂抹头(12)，用于对晶圆表面进行涂布；
其中，所述支撑腿(3)呈圆柱体状，并且所述支撑腿(3)共设置有四个；
其中，所述把手(8)外表面设置有一层防滑纹路。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，其特征在于：所述机体(1)顶端中部设置有防尘罩(2)，所述机体(1)底部四端固定有所述支撑腿(3)，所述机体(1)前端面中部设置有控制开关(4)，所述机体(1)前端面上端设置有显示屏(5)，并且所述显示屏(5)与所述控制开关(4)电连接，所述机体(1)背面右端设置有电源线(6)，并且所述电源线(6)与所述控制开关(4)电连接。


3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，其特征在于：所述机体(1)右端中部设置有活动门(7)，所述活动门(7)右端固定有把手(8)，所述防尘罩(2)内部设置有承载盘(9)，所述机体(1)顶部右后端固定有第一伸缩杆(10)，并且所述第一伸缩杆(10)与所述控制开关(4)电连接，所述第一伸缩杆(10)前端面上端设置有第二伸缩杆(11)，并且所述第二伸缩杆(11)与所述控制开关(4)电连接，所述第二伸缩杆(11)底部前端设置有涂抹头(12)，所述涂抹头(12)右端设置有导管(13)。


4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，其特征在于：所述机体(1)内部右端安装有储料筒(14)，并且所述导管(13)与所述储料筒(14)呈贯通结构，所述机体(1)内中部安装有第一电机(15)，并且所述第一电机(15)与所述控制开关(4)电连接，所述第一电机(15)顶部设置有转盘(16)，并且所述转盘(16)与所述第一电机(15)输出端转动连接，所述转盘(16)内部等距嵌入有卡槽(17)，所述承载盘(9)底部等距固定有定位杆(18)，并且所述定位杆(18)与所述卡槽(17)内侧面相插接，所述防尘罩(2)内部下端左右水平相对设置有辅助顶出装置(19)。


5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，其特征在于：所述辅助顶出装置(19)包括第一活动块...

【专利技术属性】
技术研发人员：李华芳，
申请(专利权)人：李华芳，
类型：发明
国别省市：福建;35