温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于晶圆表面涂布的旋涂装置，其结构包括机体、防尘罩、支撑腿、控制开关、显示屏和电源线，通过在防尘罩内部下端左右水平相对设置了辅助顶出装置，通过控制开关启动驱动机构，驱动机构带动大齿轮进行转动，大齿轮带动第二活动块进行活动，第...
该专利属于李华芳所有，仅供学习研究参考，未经过李华芳授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。