有机EL装置及其制造方法制造方法及图纸

实施方式的有机EL装置(100D)具有：基板(1)；驱动电路层(2)，其具有形成在基板上的多个TFT；层间绝缘层(2Pa、2Pb)，其形成在驱动电路层上；有机EL元件层(3)，其形成在层间绝缘层上；以及薄膜密封结构(10D)，其以覆盖有机EL元件层的方式形成，层间绝缘层具有接触孔(CH1、CH2)，在接触孔内形成有连接驱动电路层和有机EL元件层的接触部(C1、C2)，层间绝缘层的表面(2Pb_Sb)和接触部的表面(C_Sb)齐平，算术平均粗糙度Ra为50nm以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有机EL装置及其制造方法
本专利技术涉及有机EL装置(例如，有机EL显示装置以及有机EL照明装置)及其制造方法。
技术介绍
有机EL(ElectroLuminescence，电致发光)显示装置已开始实用化。有机EL显示装置的一个特征例举出：可以获得柔性显示装置。有机EL显示装置具有：针对每个像素至少一个有机EL元件(OrganicLightEmittingDiode：OLED，有机发光二极管)和控制向每个OLED供给的电流的至少一个TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。如上所述，针对每个OLED，具有TFT等开关元件的OLED显示装置被称为有源矩阵型OLED显示装置。另外，形成TFT和OLED的基板被称为元件基板。OLED(特别是有机发光层和阴极电极材料)受到水分的影响容易劣化，且容易产生显示不均。作为保护OLED免受水分并且提供不损害柔性的密封结构的技术，开发了薄膜密封(ThinFilmEncapsulation，TFE)技术。薄膜密封技术是通过交替地层叠无机屏障层和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机EL装置，其特征在于，其包括：/n基板；/n驱动电路层，其具有：形成在所述基板上的多个TFT、分别与所述多个TFT的任一个连接的多条栅极总线和多条源极总线、多个端子、将所述多个端子与所述多条栅极总线或所述多条源极总线的任一个连接的多条引出配线；/n层间绝缘层，其形成在所述驱动电路层上；/n有机EL元件层，其形成在所述层间绝缘层上，并具有分别与所述多个TFT的任一个连接的多个有机EL元件；以及/n薄膜密封结构，其以覆盖所述有机EL元件层的方式形成，/n所述层间绝缘层具有接触孔，/n所述接触孔内形成有连接所述驱动电路层和所述有机EL元件层的接触部，/n所述层间绝缘层的表面与所述接触部的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种有机EL装置，其特征在于，其包括：
基板；
驱动电路层，其具有：形成在所述基板上的多个TFT、分别与所述多个TFT的任一个连接的多条栅极总线和多条源极总线、多个端子、将所述多个端子与所述多条栅极总线或所述多条源极总线的任一个连接的多条引出配线；
层间绝缘层，其形成在所述驱动电路层上；
有机EL元件层，其形成在所述层间绝缘层上，并具有分别与所述多个TFT的任一个连接的多个有机EL元件；以及
薄膜密封结构，其以覆盖所述有机EL元件层的方式形成，
所述层间绝缘层具有接触孔，
所述接触孔内形成有连接所述驱动电路层和所述有机EL元件层的接触部，
所述层间绝缘层的表面与所述接触部的表面齐平，且算术平均粗糙度Ra为50nm以下。


2.根据权利要求1所述的有机EL装置，其特征在于，
所述有机EL装置具有多个像素，所述多个像素分别包括所述多个有机EL元件中的一个，
所述接触部形成在所述多个像素的各自的内侧。


3.根据权利要求2所述的有机EL装置，其特征在于，
所述多个有机EL元件具有下部电极、有机层以及隔着所述有机层与所述下部电极相对的上部电极，
所述接触部由与所述下部电极不同的材料形成。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的有机EL装置，其特征在于，
所述层间绝缘层形成于所述驱动电路层上，并具有：第一无机保护层，其至少露出所述多个端子；有机平坦化层，其形成于所述第一无机保护层上，所述有机平坦化层的表面的算术平均粗糙度Ra为50nm以下。


5.根据权利要求1至3中任一项所述的有机EL装置，其特征在于，
所述层间绝缘层形成于所述驱动电路层上，具有：第一无机保护层，其至少露出所述多个端子；有机平坦化层，其形成于所述第一无机保护层上；以及第二无机保护层，其形成于所述有机平坦化层上，所述第二无机保护层的表面的算术平均粗糙度Ra为50nm以下。


6.根据权利要求4或5所述的有机EL装置，其特征在于，
所述薄膜密封结构具有：
第一无机屏障层、与所述第一无机屏障层的上表面相接的有机屏障层、与所述有机屏障层的上表面相接的第二无机屏障层，所述有机屏障层形成在由所述第一无机屏障层与所述第二无机屏障层直接接触的无机屏障层连接部包围的区域内，
从所述基板的法线方向观察时，在形成有所述第一无机保护层的区域内，形成有所述有机平坦化层，在形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克彦，鸣泷阳三，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP