一种真空镀膜机腔体冷却装置制造方法及图纸

技术编号:26420692 阅读:15 留言:0更新日期:2020-11-20 14:16
本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括底板,所述底板上端中心位置固定安装设置有镀膜机主体,所述镀膜机主体前端中心位置活动安装设置有门板,所述底板上端在镀膜机主体两侧端位置均垂直固定设置有壳体,所述镀膜机主体内侧壁上固定设置有第一蛇形管,所述镀膜机主体上端中心位置固定安装设置有储水箱,所述储水箱内部底端中心位置固定安装设置有水泵,所述水泵右侧端中心位置固定安装设置有第二蛇形管,所述储水箱左侧上端固定安装设置有第三蛇形管。本实用新型专利技术启动水泵与散热风扇,水泵将储水箱内部的水源泵入第二蛇形管内部位置,然后经过右侧壳体流入第一蛇形管内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体内部进行快速降温。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机腔体冷却装置
本技术涉及加工设备领域,具体为一种真空镀膜机腔体冷却装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种;主要思路是分成蒸发和溅射两种。现有的真空镀膜机在使用后一般通过自然冷却进行降温,降温速度慢,影响加工的效率,所以急需要一种装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空镀膜机腔体冷却装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括底板,所述底板上端中心位置固定安装设置有镀膜机主体,所述镀膜机主体前端中心位置活动安装设置有门板,门板便于镀膜机主体的开启,所述底板上端在镀膜机主体两侧端位置均垂直焊接固定设置有壳体,所述镀膜机主体内侧壁上镶嵌固定设置有第一蛇形管,所述镀膜机主体上端中心位置固定安装设置有储水箱,所述储水箱上端开设有补水孔,所述储水箱内部底端中心位置固定安装设置有水泵,所述水泵右侧端中心位置固定安装设置有第二蛇形管,所述储水箱左侧上端固定安装设置有第三蛇形管,所述镀膜机主体两侧端位置均水平固定穿插设置有导热棒,所述导热棒外侧端延伸至相邻所述壳体内部位置,所述壳体前端均匀镶嵌固定设置有若干个散热风扇,利用镀膜机主体镀膜完成后使用者启动水泵与散热风扇,水泵将储水箱内部的水源泵入第二蛇形管内部位置,然后经过右侧壳体流入第一蛇形管内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体内部进行快速降温,然后水源经过第三蛇形管回流至储水箱内部位置,并且在在回流过程中被左侧壳体镶嵌的散热风扇降温,同时使用时被右侧壳体镶嵌散热风扇再次降温,保证持续使用时的降温效果,并且储水箱内内部水源重复被利用,方便节约水源,而且温度通过导热棒传出,并且通过散热风扇被散热,从而进一步提高散热效果。优选的,所述补水孔上端通过螺纹绕接固定设置有密封盖,密封盖便于密封补水孔。优选的,所述第二蛇形管右侧端水平穿出储水箱右侧端位置,然后穿过右侧所述壳体内部位置,最后固定连接设置在第一蛇形管右侧端。优选的,所述第三蛇形管穿过左侧所述壳体内部位置,之后固定连接设置在第一蛇形管左侧端。优选的,所述散热风扇前端固定安装设置有保护网。优选的,所述散热风扇与水泵均与外接电源电性连接。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、本技术启动水泵与散热风扇,水泵将储水箱内部的水源泵入第二蛇形管内部位置,然后经过右侧壳体流入第一蛇形管内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体内部进行快速降温;2、本技术水源经过第三蛇形管回流至储水箱内部位置,并且在在回流过程中被左侧壳体镶嵌的散热风扇降温,同时使用时被右侧壳体镶嵌散热风扇再次降温,保证持续使用时的降温效果,并且储水箱内内部水源重复被利用,方便节约水源,而且温度通过导热棒传出,并且通过散热风扇被散热,从而进一步提高散热效果。附图说明图1为本技术一种真空镀膜机腔体冷却装置整体结构示意图;图2为本技术一种真空镀膜机腔体冷却装置的镀膜机主体剖视图;图3为本技术一种真空镀膜机腔体冷却装置的散热风扇安装示意图。图中:1、底板;2、镀膜机主体;3、壳体;4、储水箱;5、补水孔;6、门板;7、散热风扇;8、第二蛇形管;9、水泵;10、导热棒;11、密封盖;12、保护网;13、第三蛇形管;14、第一蛇形管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括底板1,底板1上端中心位置固定安装有镀膜机主体2,镀膜机主体2前端中心位置活动安装有门板6,门板6便于镀膜机主体2的开启,底板1上端在镀膜机主体2两侧端位置均垂直焊接固定有壳体3,镀膜机主体2内侧壁上镶嵌固定有第一蛇形管14,镀膜机主体2上端中心位置固定安装有储水箱4,储水箱4上端开设有补水孔5,补水孔5上端通过螺纹绕接固定有密封盖11,密封盖11便于密封补水孔5,储水箱4内部底端中心位置固定安装有水泵9,水泵9右侧端中心位置固定安装有第二蛇形管8,第二蛇形管8右侧端水平穿出储水箱4右侧端位置,然后穿过右侧壳体3内部位置,最后固定连接在第一蛇形管14右侧端,储水箱4左侧上端固定安装有第三蛇形管13,第三蛇形管13穿过左侧壳体3内部位置,之后固定连接在第一蛇形管14左侧端,镀膜机主体2两侧端位置均水平固定穿插有导热棒10,导热棒10外侧端延伸至相邻壳体3内部位置,壳体3前端均匀镶嵌固定有若干个散热风扇7,散热风扇7前端固定安装有保护网12,散热风扇7与水泵9均与外接电源电性连接,利用镀膜机主体2镀膜完成后使用者启动水泵9与散热风扇7,水泵9将储水箱4内部的水源泵入第二蛇形管8内部位置,然后经过右侧壳体3流入第一蛇形管14内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体2内部进行快速降温,然后水源经过第三蛇形管13回流至储水箱4内部位置,并且在在回流过程中被左侧壳体3镶嵌的散热风扇7降温,同时使用时被右侧壳体3镶嵌散热风扇7再次降温,保证持续使用时的降温效果,并且储水箱4内内部水源重复被利用,方便节约水源,而且温度通过导热棒10传出,并且通过散热风扇7被散热,从而进一步提高散热效果。工作原理:该技术利用镀膜机主体2镀膜完成后使用者启动水泵9与散热风扇7,水泵9将储水箱4内部的水源泵入第二蛇形管8内部位置,然后经过右侧壳体3流入第一蛇形管14内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体2内部进行快速降温,然后水源经过第三蛇形管13回流至储水箱4内部位置,并且在在回流过程中被左侧壳体3镶嵌的散热风扇7降温,同时使用时被右侧壳体3镶嵌散热风扇7再次降温,保证持续使用时的降温效果,并且储水箱4内内部水源重复被利用,方便节约水源,而且温度通过导热棒10传出,并且通过散热风扇7被散热,从而进一步提高散热效果,具有结构简单、使用方便、使用效果好的优点。需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)上端中心位置固定安装设置有镀膜机主体(2),所述镀膜机主体(2)前端中心位置活动安装设置有门板(6),所述底板(1)上端在镀膜机主体(2)两侧端位置均垂直固定设置有壳体(3),所述镀膜机主体(2)内侧壁上固定设置有第一蛇形管(14),所述镀膜机主体(2)上端中心位置固定安装设置有储水箱(4),所述储水箱(4)上端开设有补水孔(5),所述储水箱(4)内部底端中心位置固定安装设置有水泵(9),所述水泵(9)右侧端中心位置固定安装设置有第二蛇形管(8),所述储水箱(4)左侧上端固定安装设置有第三蛇形管(13),所述镀膜机主体(2)两侧端位置均水平固定穿插设置有导热棒(10),所述导热棒(10)外侧端延伸至相邻所述壳体(3)内部位置,所述壳体(3)前端均匀固定设置有若干个散热风扇(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)上端中心位置固定安装设置有镀膜机主体(2),所述镀膜机主体(2)前端中心位置活动安装设置有门板(6),所述底板(1)上端在镀膜机主体(2)两侧端位置均垂直固定设置有壳体(3),所述镀膜机主体(2)内侧壁上固定设置有第一蛇形管(14),所述镀膜机主体(2)上端中心位置固定安装设置有储水箱(4),所述储水箱(4)上端开设有补水孔(5),所述储水箱(4)内部底端中心位置固定安装设置有水泵(9),所述水泵(9)右侧端中心位置固定安装设置有第二蛇形管(8),所述储水箱(4)左侧上端固定安装设置有第三蛇形管(13),所述镀膜机主体(2)两侧端位置均水平固定穿插设置有导热棒(10),所述导热棒(10)外侧端延伸至相邻所述壳体(3)内部位置,所述壳体(3)前端均匀固定设置有若干个散热风扇(7)。


2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨林生
申请(专利权)人:合肥聚盛真空科技有限公司
类型:新型
国别省市:安徽;34

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