一种带有防护结构的低温真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有防护结构的低温真空镀膜装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括真空镀膜机本体，还包括防护壳体以及减震组件；所述真空镀膜机本体安装在防护壳体间；所述防护壳体两侧相对布置夹持机构，所述夹持机构用于对真空镀膜机本体进行夹持固定；所述减震组件包括均匀布置在防护壳体底壁表面的缓冲套筒，所述缓冲套筒外侧设置缓冲弹簧，将真空镀膜机本体置于防护壳体内的缓冲板表面，两侧所述夹持机构同时朝向真空镀膜机本体的一侧移动，用于对真空镀膜机本体进行初步夹持固定，所述缓冲板推动缓冲套筒收缩，所述缓冲套筒挤压缓冲弹簧收缩以将外部振动作用力转化为弹性力，进而实现缓冲效果。进而实现缓冲效果。进而实现缓冲效果。

【技术实现步骤摘要】
一种带有防护结构的低温真空镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，具体是一种带有防护结构的低温真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
[0003]现有真空镀膜设备结构简单，真空镀膜机在运行过程中会发生振动，其外部并未设置有防护机构和减震机构，因此经过长时间的运行后很容易损坏内部零部件。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种带有防护结构的低温真空镀膜装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种带有防护结构的低温真空镀膜装置，包括真空镀膜机本体，还包括防护壳体以及减震组件；
[0007]所述真空镀膜机本体安装在防护壳体间；
[0008]所述防护壳体两侧相对布置夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有防护结构的低温真空镀膜装置，包括真空镀膜机本体(1)，其特征在于，还包括防护壳体(6)以及减震组件；所述真空镀膜机本体(1)安装在防护壳体(6)间；所述防护壳体(6)两侧相对布置夹持机构，所述夹持机构用于对真空镀膜机本体(1)进行夹持固定；所述减震组件包括均匀布置在防护壳体(6)底壁表面的缓冲套筒(14)，所述缓冲套筒(14)外侧设置缓冲弹簧(13)，所述缓冲套筒(14)一端与防护壳体(6)固定连接，另一端与缓冲板(12)固定连接，所述真空镀膜机本体(1)表面。2.根据权利要求1所述的一种带有防护结构的低温真空镀膜装置，其特征在于，所述夹持机构包括相对布置在防护壳体(6)内两侧的夹持板(3)，两侧所述夹持板(3)相互远离的一侧壁表面相对固定安装夹持杆(9)，所述夹持杆(9)远离夹持板(3)的一端贯穿防护壳体(6)延伸固定连接把手(10)，所述夹持杆(9)外侧设置伸缩弹簧(8)，所述伸缩弹簧(8)一端与夹持板(3)固定连接，另一端与防护壳体(6)固定连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨林生，
申请(专利权)人：合肥聚盛真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：