下载一种带有防护结构的低温真空镀膜装置的技术资料

文档序号:33061323

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本实用新型公开了一种带有防护结构的低温真空镀膜装置,涉及真空镀膜设备技术领域,包括真空镀膜机本体,还包括防护壳体以及减震组件;所述真空镀膜机本体安装在防护壳体间;所述防护壳体两侧相对布置夹持机构,所述夹持机构用于对真空镀膜机本体进行夹持固定...
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