一种用于真空镀膜的双开型挡板结构制造技术

本发明专利技术公开了一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其技术方案要点是包括真空镀膜机架、旋转运动输出件、主动轴、从动轴、配合齿轮、挡板以及固定于真空镀膜机架上的固定板，主动轴与从动轴均转动连接于固定板上，主动轴与从动轴上均设置有配合齿轮，两个配合齿轮相互啮合，旋转运动输出件用于带动主动轴旋转，挡板设置有两个，挡板的横截面呈半圆形设置，主动轴与从动轴上分别固定连接有一个挡板。基片架位于挡板下方，基片架的两个侧壁上设置有涂料腔，涂料腔内容纳有防腐蚀涂料，基片架侧壁上还设置有刷毛层。该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小真空镀膜设备的使用所需空间，并且能够提高挡板的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的双开型挡板结构
本专利技术涉及真空镀膜领域，更具体的说是涉及一种用于真空镀膜的双开型挡板结构。
技术介绍
众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。真空镀膜就是用于给材料表面镀膜的技术。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。真空镀膜有三种形式，分别是蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。真空镀膜设备中，放置被镀基片的基片架根据需要可采用挡板进行遮挡。挡板的作用是阻挡溅射物。目前挡板的启闭主要采用通过铰链向挡板一侧开启的方式，这种单向开启的模式，导致挡板一侧需要预留比较大的空间来供挡板开启，导致真空镀膜设备在使用当中所占空间大。并且挡板面向基片架的一侧长期受到溅射物的溅射，容易被腐蚀，导致挡板的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，包括有真空镀膜机架，其特征在于：还包括有旋转运动输出件、主动轴(1)、从动轴(2)、配合齿轮(3)、挡板(4)以及固定于所述真空镀膜机架上的固定板(5)；/n所述主动轴(1)与所述从动轴(2)相互平行设置，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)均转动连接于所述固定板(5)上，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)上均设置有所述配合齿轮(3)，两个所述配合齿轮(3)相互啮合；/n所述旋转运动输出件安装于所述真空镀膜机架上，所述旋转运动输出件用于带动所述主动轴(1)旋转；/n所述挡板(4)设置有两个，所述挡板(4)的横截面呈半圆形设置，所述挡板(4)侧壁上的曲面与侧壁...

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，包括有真空镀膜机架，其特征在于：还包括有旋转运动输出件、主动轴(1)、从动轴(2)、配合齿轮(3)、挡板(4)以及固定于所述真空镀膜机架上的固定板(5)；
所述主动轴(1)与所述从动轴(2)相互平行设置，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)均转动连接于所述固定板(5)上，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)上均设置有所述配合齿轮(3)，两个所述配合齿轮(3)相互啮合；
所述旋转运动输出件安装于所述真空镀膜机架上，所述旋转运动输出件用于带动所述主动轴(1)旋转；
所述挡板(4)设置有两个，所述挡板(4)的横截面呈半圆形设置，所述挡板(4)侧壁上的曲面与侧壁上的平面之间平滑过渡，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)上分别固定连接有一个所述挡板(4)，所述主动轴(1)带动所述从动轴(2)转动时，两个所述挡板(4)逐渐拼接成一个圆板或者由一个圆板逐渐分开；
所述真空镀膜机架包括基片架(9)，所述基片架(9)位于所述挡板(4)下方，所述基片架(9)的两个侧壁上设置有涂料腔(91)，所述涂料腔(91)内容纳有防腐蚀涂料，所述基片架(9)侧壁上还设置有刷毛层(92)，所述刷毛层(92)上的刷毛一端伸入到所述涂料腔(91)内，另一端伸出所述涂料腔(91)并向所述挡板(4)相互靠近的方向弯曲，所述挡板(4)相互靠近时，所述刷毛层(92)将防腐蚀涂料涂覆于挡板(4)上；所述挡板(4)相互分开时，所述刷毛层(92)将挡板(4)上的防腐蚀液刮回到所述刷毛层(92)上。


2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其特征在于：所述固定板(5)上设置有传动板(6)和第一传动轮(7)，所述传动板(6)上设置有腰型孔(61)，所述腰型孔(61)的两侧壁上均设置有传动齿(62)，所述传动板(6)上固定有齿条(63)，所述传动板(6)滑动连接于所述固定板(5)上，所述传动板(6)的滑动方向与所述腰型孔(61)的长度方向以及所述齿条(63)的长度方向保持一致；
所述第一传动轮(7)与所述旋转运动输出件的输出轴同轴固定连接，所述第一传动轮(7)位于所述腰型孔(61)内，所述第一传动轮(7)的轮齿绕所述第一传动轮(7)的中心轴线所形成的圆心角不大于180°，所述第一传动轮(7)转动时，依次与所述腰型孔(61)的两侧传动齿(62)啮合；
所述主动轴(1)上还设置有第二传动轮(11)，所述第二传动轮(11)与所述齿条(63)啮合。


3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其特征在于：所述挡板(4)的上下两侧壁上均固定有导向杆(41)，所述导向杆(41)包括有水平段(411)和弯折段(412)，所述水平段(411)与所述挡板(4)固定连接，所述水平段(411)连接所述弯折段(412)的一端向另一...

【专利技术属性】
技术研发人员：金炯，张金徽，王山，
申请(专利权)人：浙江赛威科光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33