一种晶圆保护膜撕膜机制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆保护膜撕膜机，属于晶圆撕膜机技术领域，该晶圆保护膜撕膜机包括机体，所述机体的一侧外壁通过螺栓固定有第二放置槽；所述机体的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座，第四固定座的顶部外壁开设有电动滑轨，电动滑轨底部内壁左右滑动连接有第三固定座，第三固定座的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱。本实用新型专利技术在设备撕膜工作结束后，第三固定座通过电动滑轨左右滑动位置，第一电动伸缩柱带动第二电动伸缩柱向前延伸至晶圆处理正上方，第二电动伸缩柱带动推板向下延伸，直至接触机体的顶部面，然后利用电动滑轨向第二放置槽方向滑动，把撕膜后的晶圆推入第二放置槽内，便于人工后期的取用，提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆保护膜撕膜机
本技术属于晶圆撕膜机
，具体涉及一种晶圆保护膜撕膜机。
技术介绍
在现有技术中，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，目前的晶圆在生产过程中会进行封装，便于在不同的地点运输，出于对晶圆质量安全的考虑，防止晶圆在运输时破碎，晶圆的表面会进行贴膜，在后续工序加工之前需要先将薄膜撕除；目前的撕膜设备使用时极为不便，且贴膜粘在撕膜机构滚轴的侧表面不易取下，工作人员使用时效率低下。经过检索发现，在授权公告号为CN201821020749.2的中国专利中公开了一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体，所述撕膜机本体的上表面设置有晶圆固定盘，所述晶圆固定盘的上表面设置有晶圆本体，所述晶圆本体的两侧设置有滑轨，所述滑轨设置在撕膜机本体的上表面，所述滑轨的上表面设置有连接架，所述连接架的内部设置有滚轴，所述滚轴的外侧表面设置有齿轮，所述齿轮的外侧表面设置有导向齿条，所述导向齿条的底面设置在撕膜机本体的上表面。但是上述技术方案还存在撕掉晶圆模之后，需要人工手动收集晶圆，使得工作效率不高的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆保护膜撕膜机，旨在解决现有技术中的撕掉晶圆模之后，需要人工手动收集晶圆，使得工作效率不高的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：包括机体，所述机体的一侧外壁通过螺栓固定有第二放置槽；所述机体的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座，第四固定座的顶部外壁开设有电动滑轨，电动滑轨的底部内壁左右滑动连接有第三固定座，第三固定座的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱，第一电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固定有第二电动伸缩柱，第二电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固定有推板；所述机体顶部设置有输送结构。为了使得设备自动化操作，作为本技术一种优选的，所述机体的一侧外壁通过螺栓固定有控制模块，控制模块与第一电动伸缩柱、第二电动伸缩柱和电动滑轨的信号输入端电性连接。为了便于输送物料，作为本技术一种优选的，所述输送结构包括第一固定座和皮带，所述第一固定座的一侧外壁通过螺栓固定于机体的一侧外壁，第一固定座的顶部外壁通过螺栓固定有电机，电机的信号输入端与控制模块电性连接，所述机体的两侧内壁转动连接有两个滚轮，所述皮带的圆周内壁套接于两个滚轮的外表面外壁，其中一个滚轮通过联轴器与电机相连接。为了使得物料固定，便于撕膜作业，作为本技术一种优选的，所述机体的底部内壁通过螺栓固定有真空泵，真空泵的信号输入端与控制模块电性连接，机体的顶部外壁通过螺栓固定有吸盘，吸盘通过导管与真空泵相连接。为了便于设备的自动化操作，作为本技术一种优选的，所述机体靠近吸盘的顶部外壁通过螺纹固定有光幕传感器，光幕传感器的信号输出端与控制模块信号输入端电性连接。为了进一步便于撕膜作业，作为本技术一种优选的，所述机体的顶部外壁通过螺栓固定有第二固定座，第二固定座的顶部外壁通过螺栓固定有转盘，转盘的顶部外壁通过螺栓固定有支撑架。为了使得模皮固定，作为本技术一种优选的，所述支撑架的一端通过螺栓固定有铁块，铁块的一侧外壁通过螺栓固定有固定轴，固定轴的圆周外壁滑动连接有磁铁。为了便于归纳撕掉后的模皮，作为本技术一种优选的，所述机体的一侧外壁通过螺栓固定有第一放置槽。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、通过设置有第一电动伸缩柱和第二电动伸缩柱等结构，在设备撕膜工作结束后，第三固定座通过电动滑轨左右滑动位置，第一电动伸缩柱带动第二电动伸缩柱向前延伸至晶圆处理正上方，第二电动伸缩柱带动推板向下延伸，直至接触机体的顶部面，然后利用电动滑轨向第二放置槽方向滑动，把撕膜后的晶圆推入第二放置槽内，便于人工后期的取用，提高了工作效率。2、通过设置有支撑架和转盘等结构，支撑架通过第二固定座上的转盘可进行度旋转方向，便于撕膜作业，当物料被吸盘所固定时，人工手动操作通过固定轴把磁铁扳开，然后把模皮放置在铁块和磁铁之间，受强大磁力的影响，把模皮固定。3、通过设置有真空泵和吸盘等结构，物料通过皮带传送至吸盘上方时，经过光幕传感器红外线信号发出端，当红外线光幕被口罩遮挡时，光幕传感器把遮光信号发送至控制模块，控制模块电性连接控制真空泵启动，使得吸盘产生吸力，从而使得物料固定，便于撕膜作业。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为本技术中的主视结构示意图；图2为本技术中的右视结构示意图；图3为本技术中的俯视结构示意图；图4为本技术中的电路流程结构示意图；图中：1-机体；2-第一固定座；3-控制模块；4-第一放置槽；5-第二固定座；6-转盘；7-支撑架；8-铁块；9-吸盘；10-第一电动伸缩柱；11-第三固定座；12-第四固定座；13-推板；14-皮带；15-真空泵；16-磁铁；17-第二放置槽；18-光幕传感器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供以下技术方案：包括机体1，所述机体1的一侧外壁通过螺栓固定有第二放置槽17；所述机体1的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座12，第四固定座12的顶部外壁开设有电动滑轨，电动滑轨的底部内壁左右滑动连接有第三固定座11，第三固定座11的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱10，第一电动伸缩柱10的底部外壁通过螺栓固定有第二电动伸缩柱，第二电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固定有推板13；所述机体1顶部设置有输送结构。在本技术的具体实施例中，在设备撕膜工作结束后，第三固定座11通过电动滑轨左右滑动位置，第一电动伸缩柱10带动第二电动伸缩柱向前延伸至晶圆处理正上方，第二电动伸缩柱带动推板13向下延伸，直至接触机体1的顶部面，然后利用电动滑轨向第二放置槽17方向滑动，把撕膜后的晶圆推入第二放置槽17内，便于人工后期的取用，提高了工作效率。具体的，所述机体1的一侧外壁通过螺栓固定有控制模块3，控制模块3分别与第一电动伸缩柱10、第二电动伸缩柱和电动滑轨的信号输入端电性连接。本实施例中：控制模块3使得设备可以自动化操作，节省人力。具体的，所述输送结构包括第一固定座2和皮带14，所述第一固定座2的一侧外壁通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆保护膜撕膜机，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)的一侧外壁通过螺栓固定有第二放置槽(17)；所述机体(1)的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座(12)，第四固定座(12)的顶部外壁开设有电动滑轨，电动滑轨的底部内壁左右滑动连接有第三固定座(11)，第三固定座(11)的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱(10)，第一电动伸缩柱(10)的底部外壁通过螺栓固定有第二电动伸缩柱，第二电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固定有推板(13)；所述机体(1)顶部设置有输送结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆保护膜撕膜机，其特征在于：包括机体(1)，所述机体(1)的一侧外壁通过螺栓固定有第二放置槽(17)；所述机体(1)的顶部外壁通过螺栓固定有第四固定座(12)，第四固定座(12)的顶部外壁开设有电动滑轨，电动滑轨的底部内壁左右滑动连接有第三固定座(11)，第三固定座(11)的一侧外壁通过螺栓固定有第一电动伸缩柱(10)，第一电动伸缩柱(10)的底部外壁通过螺栓固定有第二电动伸缩柱，第二电动伸缩柱的底部外壁通过螺栓固定有推板(13)；所述机体(1)顶部设置有输送结构。


2.根据权利要求1所述的晶圆保护膜撕膜机，其特征在于：所述机体(1)的一侧外壁通过螺栓固定有控制模块(3)，控制模块(3)与第一电动伸缩柱(10)、第二电动伸缩柱和电动滑轨的信号输入端电性连接。


3.根据权利要求1所述的晶圆保护膜撕膜机，其特征在于：所述输送结构包括第一固定座(2)和皮带(14)，所述第一固定座(2)的一侧外壁通过螺栓固定于机体(1)的一侧外壁，第一固定座(2)的顶部外壁通过螺栓固定有电机，电机的信号输入端与控制模块(3)电性连接，所述机体(1)的两侧内壁转动连接有两个滚轮，所述皮带(14)的圆周内壁套接于两个滚轮的外表面外壁，其中一个滚轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯跃虎，诸葛锋，曾庆明，
申请(专利权)人：广东硕成科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44