用于波形采集的开环制造技术

包括计算机程序产品在内的方法和设备，它们实现并采用用于开环波形采集的技术。概括地说，本发明专利技术一方面提供了一种用于开环波形采集的方法。该方法包括获取一个电子束探测系统的采集环路的Ｓ曲线。该Ｓ曲线代表了采集环路对采集环路与待测设备之间电压差变化作出的响应。该方法包括对采集环路进行校准以获得所获取Ｓ曲线的线性区域，并利用所获取Ｓ曲线的线性部分计算待测设备的探测点电压。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及通过电子束探测系统进行波形采集。
技术介绍
传统的电子束探测系统使用闭环方案来采集波形。一个实际的例子就是加利福尼亚州圣何塞的Schlumberger科技公司生产的IDS10000TM。闭环采集方案将被称为闭环方案。有若干理由让我们采用闭环方案。闭环方案中的反馈环路允许采集环路的输出线性追踪探测点上的电压变化。探测点是电子束脉冲被导向的位置。因此，闭环方案通常能使探测系统可靠地测量一个待测设备(DUT)上探测点处的电压。图1示出了一种传统的闭环电子束测量系统100。探测仪104对DUT 102施加某种模式的测试向量。在一个合适的时间点上，探测仪104会触发一个定时控制器106。在被触发后，定时控制器106就向一个电-光设备108提供波束脉冲定时信号。响应于上述的波束脉冲定时信号，电-光设备108向DUT 102上的探测点处投射一道初级电子波束脉冲110。初级电子波束脉冲110由一个消隐电路进行脉冲调制。来自初级电子波束脉冲110的电子与探测点发生作用。这种相互作用产生低能量电子，称为次级电子，这些电子中的一部分具有足够的能量来克服过滤网112的势能障碍，所述的过滤网本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于开环波形采集的方法，该方法包括：获取一个电子束探测系统的采集环路的Ｓ曲线，该Ｓ曲线代表采集环路对采集环路与待测设备之间的电势差变化作出的响应；校准采集环路以便得到所获取的Ｓ曲线中的线性区域；以及利用所获取的Ｓ 曲线的线性部分计算待测设备上探测点处的电压。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：王晖，金井健一，小池弘泰，
申请(专利权)人：诚信系统公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]