【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体传感器元件的制造方法相关申请的交叉引用本申请基于2018年4月12日申请的专利申请号2018－076926号，在此引用其记载内容。
本公开涉及气体传感器元件的制造方法。
技术介绍
以往，已知有利用激光束的工件的处理方法。例如在专利文献1中，使用超短脉冲激光进行所希望的除去几何形状的激光穿孔。专利文献1：日本专利第6022038号公报然而，例如在制造气体传感器元件的情况下，希望加工为检测的电流等物理量成为所希望的值。然而在专利文献1中，并未提及除几何形状以外的任何物理性质。本公开的目的在于提供一种能够减少传感器元件的检测偏差的气体传感器元件的制造方法。
技术实现思路
本公开的气体传感器元件的制造方法具备：升温工序、电流测定工序、以及调整工序。气体传感器元件具有：固体电解质层、第一电极、第二电极、加热器、以及扩散阻抗层，能够基于在第一电极与第二电极之间流动的电流亦即极限电流来检测特定离子的浓度。固体电解质层能够传导测定气体中的特定离子。第一电极设置于固体电解质层的被...
【技术保护点】
1.一种气体传感器元件的制造方法，该气体传感器元件(10)具有：固体电解质层(12)，能够传导测定气体中的特定离子；第一电极(13)，设置于上述固体电解质层的被导入测定气体的一侧的面亦即第一主面(121)；第二电极(14)，设置于上述固体电解质层的与上述第一主面相反侧的面亦即第二主面(122)；加热器(15)，设置于上述第二主面侧且使上述固体电解质层升温；以及扩散阻抗层(11)，测定气体能够穿过，并且设置于向设置上述第一电极的位置导入测定气体的导入路径，上述气体传感器元件(10)能够基于根据上述特定离子的浓度差在上述第一电极与上述第二电极之间流动的电流亦即极限电流来检测上述...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180412 JP 2018-0769261.一种气体传感器元件的制造方法，该气体传感器元件(10)具有：固体电解质层(12)，能够传导测定气体中的特定离子；第一电极(13)，设置于上述固体电解质层的被导入测定气体的一侧的面亦即第一主面(121)；第二电极(14)，设置于上述固体电解质层的与上述第一主面相反侧的面亦即第二主面(122)；加热器(15)，设置于上述第二主面侧且使上述固体电解质层升温；以及扩散阻抗层(11)，测定气体能够穿过，并且设置于向设置上述第一电极的位置导入测定气体的导入路径，上述气体传感器元件(10)能够基于根据上述特定离子的浓度差在上述第一电极与上述第二电极之间流动的电流亦即极限电流来检测上述特定离子的浓度，
上述气体传感器元件(10)的制造方法具备：
升温工序(S102)，对上述加热器通电，使上述固体电解质层升温；
电流测定工序(S103、S107、S109、S111)，对上述第一电极以及上述第二电极施加电压，测定上述极限电流；以及
调整工序(S106、S108、S110)，通过使用超短脉冲激光除去上述扩散阻抗层来调整上述导入路径的距离亦即扩散距离，以使上述极限电流成为规定范围内。
2.根据权利要求1所述的气体传感器元件的制造方法，其中，
在与上述调整工序相同的制造装置(50)内，在进行上述调整工序时持续地进行上述电流测定工序。
3.根据权利要求1或2所述的气体传感器元件的制造方法...
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