下载气体传感器元件的制造方法的技术资料

文档序号:26348522

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本发明提供气体传感器元件的制造方法,能够基于根据特定离子的浓度差在第一电极(13)与第二电极(14)之间流动的电流亦即极限电流来检测特定离子的浓度的气体传感器元件(10)的制造方法具备:升温工序(S102)、电流测定工序(S103、S107...
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