一种体声波谐振器的空腔结构及制作工艺制造技术

本发明专利技术公开了提出了一种体声波谐振器的空腔结构及制作工艺，包括衬底、形成在衬底上的空腔，衬底上设置有支撑层以包围形成空腔，在衬底上方与空腔同层形成有连通空腔的释放通道，释放通道平行于衬底在空腔周围延伸，其中，交错的释放通道可依谐振器的分布位置设计。无需做释放孔简化了谐振器的制作工艺，避免了制作释放孔时使电极层周围的压电层结构遭受破坏而带来的谐振器性能削弱。并且可以设计电极层周围的释放通道的形状，调节电极层周围的压电层应力可以达到改善谐振器性能的效果。因此既能在不破坏压电层结构的前提下完成空腔释放，又能通过空腔结构设计调节压电层应力。

【技术实现步骤摘要】
一种体声波谐振器的空腔结构及制作工艺
本申请涉及通信器件领域，主要涉及一种体声波谐振器的空腔结构及制作工艺。
技术介绍
随着电磁频谱的日益拥挤、无线通讯设备的频段与功能增多，无线通讯使用的电磁频谱从500MHz到5GHz以上高速增长，也对性能高、成本低、功耗低、体积小的射频前端模块需求日益增长。滤波器是射频前端模块之一，可改善发射和接收信号，主要由多个谐振器通过拓扑网络结构连接而成。Fbar(Thinfilmbulkacousticresonator)是一种体声波谐振器，由它组成的滤波器具有体积小、集成能力强、高频工作时保证高品质因素Q、功率承受能力强等优势而作为射频前端的核心器件。Fbar是由上下电极和夹在电极之间的压电层组成的基本结构。压电层可实现电能与机械能的转换。当上下电极施加电场时，压电层将电能转换为机械能，机械能宏观上则以声波的形式存在；声波在上下电极之间来回反射，形成振荡，振荡的声波会激励起射频信号，此时完成机械能转换电能。因而压电层是体声波产生的主要场所，其性质影响谐振器性能。如图1所示，压电层材料的应力变化会导致压电层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种体声波谐振器的空腔结构，包括衬底以及形成在所述衬底上的空腔，其特征在于，所述衬底上设置有支撑层以包围形成所述空腔，在所述衬底上方与所述空腔同层形成有连通所述空腔的释放通道，所述释放通道平行于所述衬底在所述空腔周围延伸。/n

【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器的空腔结构，包括衬底以及形成在所述衬底上的空腔，其特征在于，所述衬底上设置有支撑层以包围形成所述空腔，在所述衬底上方与所述空腔同层形成有连通所述空腔的释放通道，所述释放通道平行于所述衬底在所述空腔周围延伸。


2.根据权利要求1所述的体声波谐振器的空腔结构，其特征在于，所述释放通道包括从所述空腔向外延伸的第一释放通道以及在多个所述谐振器的空腔之间延伸以连通所述第一释放通道的第二释放通道。


3.根据权利要求2所述的体声波谐振器的空腔结构，其特征在于，所述第一释放通道和/或所述第二释放通道在所述衬底上的投影形状包括梯形、弧形或直方形。


4.根据权利要求1所述的体声波谐振器的空腔结构，其特征在于，在多个所述谐振器连接形成的滤波器的外部周围的所述衬底上形成与所述释放通道连通的凹槽。


5.根据权利要求4所述的体声波谐振器的空腔结构，其特征在于，所述凹槽为顶部没有任何薄膜覆盖的沟道。


6.一种体声波谐振器，所述谐振器包括覆盖在所述空腔上方依次层叠形成的底电极层、压电层和顶电极层，其中所述底电极层架设在所述支撑层上，其特征在于，还包括所述权利要求1-5中任一项所述的空腔结构。


7.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于，所述释放通道为在所述衬底与所述压电层之间延伸的通道。


8.根据权利要求6所述的体声波谐振器，其特征在于，在远离所述谐振器的所述底电极层和所述顶电极层的区域设置有释放孔，所述释放孔至少与一个所述释放通道连通。


9.一种体声波谐振器的空腔结构的制作工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1，在衬底上制作具有图形化的支撑层，以形成被所述支撑层包围的空腔以及在所述衬底上方与所述空腔同层形成有连通所述空腔的释放通道，所述释放通道平行于所述衬底在所述空腔周围延伸；
S2，利用牺牲材料填平所述空腔和所述释放通道；
S3，在所述支撑层和所述牺牲材料上制作底电极层，所述底电极层架设在所述支撑层上并覆盖所述空腔；
S4，在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李林萍，盛荆浩，江舟，
申请(专利权)人：杭州见闻录科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33